条纹反射法检测光学反射镜面形.pdf

第 44卷第 9期 光 子 学 报 Vo1．44No．9 2015年 9月 ACTA PH0TONICA SINICA September2015 doi：10．3788／gzXb2O154409。0912004 条纹反射法检测光学反射镜面形 袁婷 ，张峰 ，陶小平 ，周润 ，付锦江 (1中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ，中国科学 院光学系统先进制造技术重点实验室，长春 13OO33) (2中国科学 院大学 ，北京 100049) 摘 要 ：针对光学反射镜在精磨 向初抛光过渡阶段时面形与理想面形存在较大偏差的问题 ，采用轮廓仪 和普通干涉仪检测无法满足加工检测需求的问题 ，提 出采用动态范围大且准确度高的条纹反射法来检 测光学反射镜．研究分析 了条纹反射检测系统的原理及系统误差，运用光线追迹软件对条纹反射检测 i00mm口径反射镜面形进行建模仿真 ，并对 已经加工完成的 100mm 口径旋转对称球面反射镜进行 了 检测 ，测量得到的面形误差峰谷值及均方根值分别为 0．523 m 和 0．086 m，满足该过渡阶段 的检测 需求． 关键词 ：条纹反射 ；光学检测 ；光线追迹 ；误差分析 中图分类号 ：TN247 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4213(2015)09—0912004—6 TestofOpticalM irrorSurfaceUsingFringeReflectionSystem YUANTing ，ZHANGFeng，TAo Xiao—ping ，ZHOURun ，FUJin—jiang’。 (1KeyLaboratoryofOpticalSystemAdvancedManu，乜cturingTechnology，ChangchunInstituteofOptics， FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) (2UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Abstract：Largeshapeerrorscanbefoundfrom thestageoffinegrindingtothebeginningofpolish，itis provedthatitcan tsatisfythemeasuring requirementstotestthemirrorswithprofilersorordinary interferometerinthatstage．Toobtaintheopticalmirrors shapeerrorbasedon fringereflection，the methodofhighprecisionandlargedynamicisproposed．Theprincipleandsystem errorsofthetesting system wereanalyzed．Toverifythefeasibleofthetestingsystem ，themodeloftestingonareflecting mirror(theapertureis100mm)wasbuiltandsimulatedbyraytracing．Thepreliminarytestingdataon rotationalsymmetrysphericalmirroris：PV is0．523 m ，RMS is0．086 m ，Thefeasibilityofthe testingsystem basedonfringereflectionusedinthisperiodiSverified． Keywords：Fringereflection；Opticaltesting；Ray