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纳米硬度技术发展与应用

第 卷 第 期 力 学 进 展 年 月 日 ’ 纳米硬度技术 的发展和应 用 张泰华 杨业 敏 中国科学 院力学研究所非线性力学 国家重 点实验室, 北京 摘 要 近二十年来, 主要用 于检测材料表面微米和亚微米尺度力学性质 的纳米硬度技术发展迅 、 速 首先, 概述硬度 的定义 分类及其适用范 围 然后, 系统地总结纳米硬度技术 的发展, 重点介绍 纳米压痕硬度 的测量原理及其影 响因素, 连续刚度测量原理 , 高分辨率 的载荷位移测量原理 , 几种常 压头 的 形 , 的 和 , 相关 的 , 器 和显 观 通过压 用 几何 状 试样表面 准备 确定 测试方法 仪 校准 微 察等 问题 、 、 、 、 痕实验可获得硬度 弹性模量 断裂韧性 存储模量和损耗模量 蠕变应力指数等 最后 , 简要介绍 纳米划痕硬度测量技术 的发展和应用 关键词 纳 米压 , 纳 米划 , 微 力 性能, 硬 , , 韧 , 应 力指数 痕 痕 学 度 模量 断裂 性 蠕 变 引 言 、 硬度 是评价材料力学性能 的一种简单 高效 的手段,

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