材料测试方法第三章 透射电子显微分析.pdf

第三章 透射电子显微镜分析 §3.1概述 一、光学显微镜的局限性 强度 L D B 2 d d O1 B1 O 2 由于光的衍射，光学显 λ 1 微镜其最大的分辨能力为 d 0.61 ≈ λ n sin α 2 对于可见光的波长在390 ~ 770nm之间，n值最大只能达到 1.5~1.6，可得光学显微镜其最大的分辨能力为0.2μm(200 nm) §3.1概述 一、光学显微镜的局限性 于是，人们用很长时间寻找波长短，又能聚焦成像的光波。 γ射线→ X 射线 →紫外光→可见光→红外光→微波 →无线电波 利用紫外线，强烈地吸收；γ射线、X 射线没有办法使其聚焦 二、电子的波动性及波长 • 1897年，Thomson发现了电子。 • 1925年，De Broglie提出物质波的假设，即电子具有微粒性， 也具有波动性。 • 1927年， Thompson and Reid 进行了电子衍射实验。 §3.1概述 二、电子的波动性及波长 • 根据De Broglie物质波的假设，电子波长为 h h 1 2 h λ mv eU λ p mv 2 2emU m h • 考虑相对论效应 0 m ⇒λ 2 1 ( / ) 1−eU − v c 2m eU ( ) 0 2 U = 100 kV 时， 2m c 0 λ ＝0.00386 nm • 电子衍射实验。 二、电子的波动性及波长 • 1926年，Busch提出了用轴对称的电场和磁场对电子束进行 聚集，发展成电磁透镜． • 1931-1933年，Ruska 等设计并制造了