单向流(层流式).pdf

一、 清淨室的型式 AHU+DUCT+FFU 系統 單向流 層流式( ) MAU+ FFU+DRY COIL 系統 美國 FS-209D 中，依氣流型式將清淨室區分四種基本型式： 單 向 流(平行流) (1)垂直單向流 第 26 頁 YUNG CHUN 永錞工程………….. 0 氣流垂直向下吹(擴散角度≦ 15 ，且各點風速≦平均風速± 20%) ，工作面之平均風速0.25~0.35m/s ，100 級~1 級適用 .(2)水平單向流 氣流上游處(近出風口處)之清淨度可為 100~1 級，但下游處(污 染源或工作面之後)之清淨度顯著變差，適合狹長型空間應用 瑞儀光電 瑞儀光電 非單向流 亂流式( ) 非單向流 (3)亂流型 (非平行流) 類似於傳統空調之出風方式，但換氣次數為 20~70 次/時(傳 第 27 頁 YUNG CHUN 永錞工程………….. 統空調僅約 3~10 次/時) ≧1000 級適用 (4)斜吹型 為對角斜吹式之清淨室，氣流上、下游之清淨度有顯著差異， 較適合低高度之狹長空間用≧ 1000 級適用 所羅門 華生 二、 淨室空調與一般空調相較，基本特徵如下： 與一般空調相較，清淨室空調的基本特徵如下： (1) 需要求清淨度 一般空調因不要求清淨度，多採用 AFI 效率≦30%的可清洗式初級濾 網，而清淨室空調需求採用高價、高效率的更換式初、中、高級濾網 (2) 較大的外氣負荷 製程設備排氣，需補進大量外氣，以維持正壓，導致相同空間，郤需要 較大冷凍能力的空調設備 (3) 較大的換氣次數 一般空調之換氣次數多為 3~10 次/時，而清淨室空調之換氣次數高達 20~1000 次/時，因此需用(超)大馬力的風扇馬達 (4) 較低的溫濕度要求 一般空調：室溫為 24~27℃，濕度為 50~70%RH 清淨室空調：室溫為 20~24℃，濕度為 35~60%RH 故較低溫濕度導致較大的冷凍能力需求 (5) 恒溫恒濕要求 一般空調並不要求恒溫恒濕，但清淨室空調的溫濕度精度要求多為≦±2 第 28 頁 YUNG CHUN 永錞工程………….. ℃(DB)和≦±5%(RH) 。精密的精度要求，導致再熱與加濕能源及自動控 制設備等費用的增加 (6) 較佳的風管系統 因風管靜壓大，加上較低的送風溫度清淨室的風管工程，需有較佳的 密封性，較厚的保溫層和較厚的鐵皮施工過程中，要隨時保持清潔。 (7) 適當的室壓差控制 一般空調並不要求室壓控制，而清淨室空調為防止交叉污染，因此必 需裝設氣洗室、氣鎖室、遞物箱、洩壓閥及壓差控制儀器等設備 (8) 全天侯運轉 為了維持清淨室與溫濕度要求，正統的清淨室多需 24 小時的全天侯 運轉，其運轉成本多數倍於一般空調的運轉成本 第 29 頁