单一方向流无尘室.pdf

Design of Unidirectional Cleanrooms and Clean Air Devices （單一方向流向無塵室及空氣清淨裝置設計） Unidirectional Cleanrooms （單一方向流無塵室） 單一方向流無塵室 單一方向流（ unidirectional airflow ）無塵室， 即〝層流〞（ laminar flow ）無塵室 通常以0.3 m/s到0.5 m/s （60 ft/min - 100ft/min ） 的均勻氣流速度流經整個空間 6-3 典型垂直氣流型無塵室之剖面圖 6-4 單一方向的氣流能夠 立即地移除來自人員 或製程的污染 亂流式通風的無塵室則須依賴混合與稀釋 來移除污染 單一方向性氣流轉變成亂流模式 工作區間中有機器對氣流產生阻礙 人員在其附近移動 氣流速度必須在 0.3 －0.5m/s （60–100 ft/min ）， 才能使被擾亂的氣流再次建立起來 6-5 氣流速度對無塵室的影響 氣流速度可從 0.1 m/s （20 ft/min ）變到0.6 m/s （120 ft/min） 在流速為0.3 m/s （60 ft/min ）時，此單一方 向性氣流可有效降低微粒子及細菌濃度。 氣流速度到達 0.6 m/s （120 ft/min ）時，可 降低空氣中微粒子數，但其降低污染的效 果已明顯變少 氣流速度為 0.3 m/s將提供最佳的投資報酬 率，機器或人員密集時應提高。 6-6 單一方向性氣流應以氣流速度加以正確地定 義，因為氣流速度愈高，無塵室愈清潔。 每小時換氣次數（air changes per hour ）與房 間的體積有關，因此並非正確的衡量標準。 單一方向流無塵室所供給的空氣量將比亂流 式無塵室要多上好幾倍（10倍到 100倍） 單向流無塵室一般分為兩種型式 水平層流 氣流方向是由牆面到牆面的水平方向流動 垂直層流 氣流方向則是由天花板到地板的垂直方向流動。 6-7 垂直層流無塵室 類型一 氣流穿過整個平面區域一直到地板 6-8 類型二 經由四週牆壁到地板高度的排氣格柵來進行回風 建議樓板面積以 6 m （20 ft ）為最大寬度限制。 房間的中心處無法提供層流送風，且在其它地方 的氣流並非垂直 人員的位置在供風及產品間，可能會污染產品。 6-9 水平層流無塵室 水平層流無塵 室之典型設計 造價成本及運