SooPAT具有垂直光路结构的薄膜应力测摘要.PDF

SooPAT 具有垂直光路结构的薄膜应力测 量装置及其应用 申请号：201210061864.5 申请日：2012-03-10 申请(专利权)人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 地址 215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号 发明(设计)人方运 王逸群 王玮 朱建军 张永红 张宝顺 主分类号 G01L1/24(2006.01)I 分类号 G01L1/24(2006.01)I 公开(公告)号102620868A 公开(公告)日2012-08-01 专利代理机构 苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 32239 代理人 丁秀华 注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利 (19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN102620868B* *CN102620868B* (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 102620868 B (10)授权公告号 CN 102620868 B (45)授权公告 日 2013.12.11 (21)申请号 201210061864.5 CN 1793842 A,2006.06.28, (22)申请 日 2012.03.10 审查员 董晶 (73)专利权人 中国科学院苏州纳米技术与纳米 仿生研究所 地址 215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖 高教区若水路398 号 (72)发明人 方运 王逸群 王玮 朱建军 张永红 张宝顺 (74)专利代理机构 苏州慧通知识产权代理事务 所 (普通合伙) 32239 代理人 丁秀华 (51) Int.C l. G01L 1/24 (2006.01) (56)对比文件 CN 1065931 A,1992.11.04, US 2008186512 A1,2008.08.07, CN 201163222 Y,2008.12.10, CN 101446687 A,2009.06.03, 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 权利要求书1 页 说明书3 页 附图2 页 (54) 发明名称 具有垂直光路结构的薄膜应力测量装置及其 应用 (57) 摘要 本发明揭示了一种具有垂直光路结构的薄膜 应力测量装置及其应用。该薄膜应力测量装置包 括多光束图形发生器以及光束位置探测器，所述 多光束图形发生器与所述光束位置探测器互相垂 直排布。本发明提高了薄膜应力测量精度，简化了 薄膜应力测量装置的光路布局与装调要求，可被 广泛应用于在薄膜应力离线测量装置、薄膜沉积 设备、材料外延设备等之中。 B B 8 8 6 6 8 8 0 0 2 2 6 6 2 2 0 0 1 1 N N C C CN 102620868 B