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实验技术
探针法测量磁电阻效应
龚小燕 阚 敏 杨 毅
(上海大学理学院 上海 201800) ( 中国科学院上海冶金研究所 上海 200050)
摘 要 阐述了各向异性磁电阻效应测量原理 ,提出采用对称电流六探针来改善测量误差 , 以及八探
针法测量多层膜巨磁阻效应.
关键词 探针 ,磁薄膜 ,磁电阻效应
MEASUREMENT OF MAGNETORESISTIVITY USING POINT PROBES
Gong Xiaoyan Kan Min
( College of Science , S hanghai U niversity , S hanghai 201800)
Yang Yi
( S hanghai Instit ute of Metallurgy , The Chinese Academy of Sciences , S hanghai 200050)
Abstract The principle of the measurement of anisotropic magnetoresistivity is described. It is
shown that the sixpoint probe can improve the measurement accuracy and the eightpoint probe can
measure the giant magnetoresistivity of multilayer films.
Key words probe , magnetic films , magnetoresistivity effect
测量薄膜的各向异性磁电阻效应 , 关键就
1 概述 是必须确定电流和磁场之间的夹角, 通常采用
以下3 种方法 :
( )
薄膜材料的研究是当今物理学前沿学科之 1 光刻法, 即将薄膜光刻成窄带. 可以认
一 ,磁性薄膜在磁存储方面的应用已众所周知 , 为窄带中只有平行、均匀的电流, 改变磁场方向
θ θ Δρ
利用磁性薄膜的磁电阻效应可以制成高灵敏度 由 = 0 至 = 90°, 测出 . 此方法的缺点是 :
磁传感器 ,磁电阻效应的研究对磁学基础研究 首先, 要对膜进行光刻处理, 而光刻工艺后有可
也有重要意义. 能改变薄膜的性质, 并引入形状各向异性; 其
磁性薄膜在平行于膜面的外磁场作用下 , 次, 只能通过改变磁场方向来获取 ρ 或 ρ , 而
∥ ⊥
达到饱和磁化时 ,薄膜的电阻率将随外磁场方 在研究非饱和状态的磁电阻效应时, 往往只能
向和电流方向发生
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