2013年陕西省科技统筹创新工程.doc

附件 2013年陕西省科技统筹创新工程难题攻关项目征集要求 工业类项目 一、半导体照明产业链关键技术与设备研究开发 （一项目名称 1.总体目标及主要任务 总体目标 通过对我省半导体照明产业链优势环节的进一步深入研究，掌握半导体照明产业链关键环节的核心技术。通过对蓝宝石单晶炉、LED外延片、LED芯片、LED关键封装材料、封装技术、汽车特种灯具与室外照明关键技术及配套产品的系统研究，形成产业链各个关键环节的关键产品的技术提升，完成各关键产品的研究开发，形成系统的研究报告、设计报告、产品标准和规范。各关键产品通过省级产品设计定型鉴定或省级成果鉴定，达到批量生产水平。 主要任务： 完成蓝宝石单晶生长炉的试制，并通过验证； 完成特种照明用紫外芯片的研究开发，并实现批量生产； 完成特种垂直结构LED芯片的研究开发，并完成垂直结构上光子晶体结构的稳定制备工艺，实现批量生产； 完成半导体照明用荧光粉的研究开发，产品通过封装验证，实现批量生产； 完成高热导率多层布线LED陶瓷支架的研究开发，产品通过封装验证，达到批量生产能力； 完成具有高导热复合层和纳米涂布层的高光效低热阻大功率封装产品的研究开发，实现批量生产； 完成汽车前大灯、室外照明产品的研究开发，产品通过应用验证，达到批量生产能力； 完成半导体照明配套储能蓄电池的研究开发，产品通过应用验证，实现批量生产。 2.课题设置 本项目设置个课题 课题二：GaN新型功能LED外延片与芯片研发 课题三：封装关键材料研发 课题四：高光效低热阻大功率LED封装产品研发 课题五：汽车用特种灯具、室外照明及配套产品关键技术研发 3.完成期限 于20前完成。 4. 技术指标为课题各环节关键设备技术指标，综合技术水平达到国际领先。经济指标为产业链各环节关键产品所产生的经济效益；项目完成后预计形成新增产值8亿元。 （二内容及要求 主要目标及任务 研究大直径蓝宝石单晶的设备和制造工艺，实现300毫米直径蓝宝石单晶制备设备国产化； 完成大尺寸蓝宝石单晶生长炉样机； 完成成套的样机设计文件，形成企业标准； 完成样机配套的工艺规范、作业指导书； 完成样机产品的省级产品设计定型或成果鉴定； 申请专利不少于5件； 培养蓝宝石单晶生长炉设计、加工和蓝宝石单晶生长工艺技术骨干合计不少于5人。 研究内容 蓝宝石晶体生长炉热场系统的设计； 蓝宝石晶体生长炉机械设计； 高精度抗干扰称重系统设计； 蓝宝石晶体生长炉电气控制系统及软件开发； 蓝宝石晶体生长工艺研究； 蓝宝石晶体生长炉循环冷却系统设计。 技术、经济指标 晶体生长方法 改良泡生法 KY 主要参数 炉膛内径 φ800mm 钨坩埚外径 φ356mm 投料量 85Kg 称重系统精度 ≤0.005KG 晶体直径 φ300mm 晶体质量参数 晶体位错密度 ≤500个/cm2 传动参数 籽晶拉速 0.1～1.5mm/h 拉速精度 ≤±2％ 籽晶快速 0～300mm/min 籽晶转速 1～10rpm 工作参数 冷炉极限真空 ≤5×10-4Pa 炉室工作压力 ≤5×10-3Pa 设备效率 单炉生产周期 ≤18天 设备能耗 单炉设备能耗 ≤30000度 电源 精 度 ≤±0.1％ 通过项目的实施，实现蓝宝石晶体生长炉的批量生产能力，预期年产大尺寸蓝宝石晶体生长炉50台，实现新增产值8750万元。 特殊资质要求 该课题为高温、高真空单晶生长设备研发，对安全、管理、环保有较高的要求，因此申报企业应具备如下特殊资质： 申报企业应通过省级高新技术企业认定； 申报企业或上级企业建设有国家级科研平台； 申报企业应已经通过ISO 9001:2008质量管理体系认证； 申报企业应已经通过ISO 14001:2004环境管理体系认证； 申报企业应已经通过GB/T 28001-2001职业健康安全管理体系认证； 申报企业应在人工晶体生长设备研发制造行业有5年以上从业经验； 申报企业注册资本不低于5000万元。 成果形式及数量要求 编写完整的科学研究报告； 建成蓝宝石单晶生长炉生产线； 完成大尺寸蓝宝石单晶生长炉样机； 完成成套的样机设计文件，形成企业标准； 完成样机配套的工艺规范、作业指导书； 完成样机产品的省级产品设计定型； 完成课题成果的省级成果鉴定； 申请专利不少于5件。 课题完成期限 课题二：GaN新型功能LED外延片与芯片研发 本课题分为“特种光源用紫外LED外延片与芯片研制”和“新型功能型垂直结构LED芯片研制”两个子课题。 主要目标及任务 研究紫外LED外延结构和管芯结构中的关键技术问题，实现高效率、大功率的紫外LED管芯的产品化； 完成课题产品的省级产品设计定型或成果鉴定； 形成成套外延片、芯片设计文件、工艺文件和技术标准； 申请专利不少于5件