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基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数.pdf
第 16 卷第9 期
光学精密工程 Vo l. 16 No.9
2008 年 9 月 Optícs and Precision Engineering Sep.2008
文章编每 1004-924X(2008)09-1582心7
基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数
金伟华1 ， 2 ，金春水1 ，张立超1 ，朱宏力 1·2 ，刘 磊1.2
O. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033;
2. 中国科学院研究生院，北京 100083)
摘要:提出了…种离线精确测定金属铝薄膜光学常数的方法。与传统的原1\1. 测fI方法相比，这种方法简便，不需要连接
到真空室的复杂测援设备上。该方法以测最椭偏光谱闹线和分光光谱曲线为目标.考虑余属铝薄膜夜空气中表丽氧化
的影响，在混合优化算法的基础上，使用基于色散关系的多波长法拟合确定金属铝薄膜从紫外到可见区(200-800 nm)
的光学常数$优化算法采用多种群并行遗传算法和单纯形法相结合的方式，提商 r拟f守所;量和速度，得到了理想的结果，
光锵曲线拟合误羔2% 。在确定了铝光学常数的基础上，镀帘IJO院腔紫外诱导透射滤光片，测擎的透过字光谐与设计
结果在 265 nm 处的峰值透过率偏整1%。
关键词:铅薄膜，光学常数g 椭偏光谱;遗传算法;单纯形法
中阳分类号:0484.5 文献标识码:A
Determination of optical constants for aluminum thin film
based on combined optimal algorism
1 2 1 2
JIN Wei-hua • .JIN Chun-shuP ,ZHANG Li-Chao ,ZHU Hong-li l. .LIU Lei 1.Z
(门l. Stωat印eKey LμabωoratωtοJrηyof Aρρμli必edOρμti衍cs. Chanl{chun Inη1ωωs必it阳ute of 0ρμti比cs.F日ín肘eMechαηi比cs ω川and Phy川sí比C
Chínese Academy of Science削s. Changchun 130033 ,China;
2. Graduate Uníver.çity of Chinese Academy of Sciences ,Beijing 100039.China)
Abstract: An ex-situ determining method was proposed for the optical constants of aluminum thin
films precisely. Compared to the traditional in-situ method. the method had no need of the complex
optical measurement 叩paratus attached to vacuum chamber and could do measurement simply and
fastly. By using multi-wavelength fitting method. the ellipsometric and photometric spectra were fittd
with a combination of optímal genetic algorism and a símplex algorism and the oxide layer forme
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