硅片检验规程教材.doc

目的 为了加强成品质量控制，规范成品检验方法及步骤，特制定此规程。 范围 本文件规定了对成品进行检验的标准等。 本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。 设备、工模具、材料 Manz硅片分选设备、PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。 4 内容 4.1 检验方式 4.1.1 外观 全检，即对全部逐件，从而判断每一件产品是否 发送部门 份 数 依据4.3中相关要求对硅片进行分类。 4.3 技术要求 按照硅片质量不同将产品分为A、B两个等级。A级为合格品，B级为可让步使用的产品。其中A级分为A1、A2两类，B级分为B1、B2两类，具体分类、检测方法见表1。 表1太阳能多晶硅片质量等级分类方法 序号 检验项目 要求 检验方法 检验方式 A级片 B级片 A1 A2 B1 B2 1 导电类型 P P 用硅片分选设备检测 全检或抽检 2 隐裂、针孔 无隐裂、无针孔 无隐裂、无针孔 3 崩边 长度≤1mm， 深度≤0.5mm 每片崩边总数≤2处 长度≤1mm， 深度≤0.5mm， 每片崩边总数≤2处 肉眼检测 全检 4 TTV ≤30μm ≤30μm 用硅片分选设备检测 全检或抽检 5 厚度 200±20μm 200±20μm 6 尺寸 156±0.5mm 156±0.5mm 7 倒角 1±0.5mm，45°±10° 1±0.5mm，45°±10° 8 线痕 深度≤8μm且不明显 深度≤15μm且不明显 15μm＜深度≤30μm 深度≤15μm且不明显 目测或用表面粗糙度仪检测 全检 9 电阻率 0.5-3Ω·cm；3-6Ω·cm 0.5-3Ω·cm；3-6Ω·cm 用硅片分选设备检测 全检或抽检 10 少子寿命 ≥2μs ≥2μs 用少子寿命测试仪检测 全检 11 表面质量 硅片表面无凹坑，无氧化，无沾污，无穿孔，无裂纹，无划伤 硅片表面无凹坑，无氧化，无沾污，无穿孔，无裂纹，无划伤 硅片表面有沾污但硅片颜色不发黑；沾污不得有3处，每处沾污面积≤1mm2 肉眼检测 全检 续表1 12 弯曲度 ≤80μm ≤80μm 用塞尺检测 抽检 13 氧碳含量 氧含量≤8×1017atoms/cm3 碳含量≤6.0×1017atoms/cm3 氧含量≤8×1017atoms/cm3 碳含量≤6.0×1017atoms/cm3 用碳氧含量测试仪检测 抽检 注：检测第8项“线痕”和第11项“表面质量”时须用标准样片进行比对 说明：1) A级硅片为优等品，B级硅片为不合格硅片； 2) B级硅片按公司《不合格品控制程序》进行处理； 3）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，其检验的光照条件依据GB50034-92工业企业照明设计标准中第3.2.1条一般精细作业中的要求，即识别对象最小尺寸0.6d1.0,视觉作业分类等级为IV乙，亮度对比为大，照度大小为200LUX（即需40W的日光灯源，工作面距离灯源50-70cm）。 4）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，检验时可以标片的方式辅助加以判定是否合乎要求。 标志、包装 标志 在包装盒至少印有如下产品标志： 企业名称； 产品型号或标记； 制造日期； 质量认证书； 硅锭编号； 氧、碳含量； 少子寿命； 电阻率。 内包装 硅片包装盒6 更改记录 版次 条款 更改内容说明 更改日期 更改人 B 太阳电池多晶硅片质量等级分类办法更改 2009.06.02 班文俊 天威新能源(成都)硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.015-2009 版 次 B 硅片检验规程 生效日期 2009年06月02日 第5页 共5页