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39 4 人 工 晶 体 学 报
第 卷 第 期 Vol． 39 No． 4
2010 8 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS August ，2010
年 月
单晶硅制绒中影响金字塔结构因素的分析
， ， ， ，
李海玲 赵 雷 刁宏伟 周春兰 王文静
( ， 100 190)
中国科学院电工研究所太阳能电池组太阳能热利用及光伏系统重点实验室 北京
: ，
摘要 本文通过不同碱性溶液及添加不同活性剂制备出的具有不同金字塔结构的绒面 并探讨了影响金字塔成核
。 - ，
的因素 采用扫描电镜和紫外 可见分光光度计对绒面的金字塔结构和反射特性进行了分析 结果表明腐蚀速率
， 。
与金字塔尺寸成正比 金字塔结构影响绒面减反特性 最后对造成金字塔结构差异的原因和金字塔成核过程进行
了分析。
: ; ; ;
关键词 单晶硅 表面制绒 腐蚀速率 成核与生长
中图分类号:O649 文献标识码:A 文章编号:1000-985X (2010)04-0857-05
Analysis on Factors Influencing Pyramidal Structure in Texturing
Monocrystalline Silicon Process
LI Hai-ling ，ZHA O Lei ，DIA O Hong -wei ，ZHOU Chun-lan ，WANG Wen-j ing
(Key Labratory of Solar Thermal Energy and Photovoltaic System ，Solar Energy Laboratory ，
Institute of Electrical Engineering ，Chinese Academy of Sciences ，Beijing 100 190 ，China)
Received 21 January 20 10 ，accep ted 2 Ap ril 20 10)
(
Abstract :By analyzing pyramidal structures textured by different alkaline solutions and surfactants ，the
factors influencing nucleation of pyramids were discussed． The pyramidal structure and reflectance of the
textured surface were analyzed by SEM and ultraviolet-visible-infrared spectrophotometer test． The results
sho
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