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多晶硅表面制绒技术研究现状_周兆忠要领.pdf

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/ · · 多晶硅表面制绒技术研究现状 周兆忠等 55 多晶硅表面制绒技术研究现状* 1 2 1 , , 周兆忠 吴 喆 冯凯萍   ( , ; , ) 1 衢州学院机械工程学院 衢州 3240002 合肥工业大学宣城校区机械工程系 宣城 242000     , 。 摘要 光伏产业在新能源发展规划中占有重要地位 目前多晶硅太阳能电池已经成为太阳能电池市场主流    , 。 硅片表面绒面的质量对太阳能电池转换效率有重要影响 多晶硅表面制绒技术也越来越受到世界各国的重视 掌握 。 , 多晶硅表面制绒技术的原理及特点对提高表面绒面质量十分重要 首先分析多晶硅表面制绒的技术要求 随后根据 , 、 , 不同的技术原理 依次对干法制绒技术 湿法制绒技术以及掩膜制绒技术进行综述 详细分析不同制绒技术的技术特 , 、 、 , 点并阐述其应用实例 随后从绒面质量 制绒效率 成本以及环保性等方面对多晶硅制绒技术进行评述 最后对多晶 硅制绒技术的发展趋势进行预测。 关键词 太阳能电池 多晶硅 表面制绒        中图分类号: 文献标识码: : / TB305 A DOI 10.11896 .issn.1005 023X.2015.09.008       j - A ReviewonSurfaceTexturin Technolo forMulticr stallineSilicon         g gy   y       1 2 1 , , ZHOU Zhaozhon WU Zhe FENGKai in   g     p g

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