全自动硅片装片机课件.doc

GZP-2A全自动硅片装片机 使用说明书 无锡双川科技有限公司 1. 概述 1．1 主要用途和适用范围 将方形硅片放入25片篮具内以供下一工序使用。 1．2 产品特点 ZPJ-2X全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料为升降系统、上料位、皮带传送机构、控制面板、硅片分取系统构成。 本产品型号组成：“ZPJ”代表装片机，2X代表2个工位2个吸盘。执行标准Q/AH318-1998《产品型号的命名》。 1．3 品种 全自动装片机，ZPJ-2X。 1．4 使用环境条件 1）环境温度：15~35摄氏度。 2）相对湿度：60%，无凝露。 3）周围环境：无腐蚀性气体。 1．5 工作条件 产品工作电源为单相三线制电源，并有压缩空气源。 1．6 对环境及能源的影响 本产品对环境及能源无污染。 1．7 本产品所执行的标准编号 GB191-1990 包装储运图示标志 GB4793.1-1995 测量控制和实验室用电气设备的安全要求 Q/AH 117-2002 产品标牌 Q/AH 318-1998 产品型号的命名 2．结构特征及工艺流程 2．1 结构特征 ZPJ-2X全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料升降系统、上料位、皮带传送机构、控制面板、硅片分取系统构成。 设备本体：结构稳定，机身喷塑处理。 篮具升降系统：利用步进系统进行精确定位 上料升降系统：利用步进系统进行精确定位 上料位：可进行适当调节 皮带传送机构：传送带选取对硅片无损伤和无污染的材料，采用导向机构，确保硅片顺利准确的进入篮具。 控制面板：采用26万色真彩显控触摸屏 硅片分取系统：气嘴分别位于硅片两侧，在吸盘真空开始后略微下降上料台，提供足够空间让粘连硅片分开。吸头采用的是PEEK材质，不会损伤硅片表面。 2．2 工艺流程 工艺流程示意图（图１） 图1 1)将硅片放置与上料位； 2)步进电机带动硅片向上移动到指定位置； 3）凸轮电机执行器带动吸盘运动到吸片位置； 4）吹气分离装置开始工作； 5）吸盘吸取硅片，并轮流把硅片放置于两侧的传送带上； 6）传送带开始工作，把硅片送入到篮具中。 3．主要技术参数及功能 3．1 外型尺寸：约930（L）x 830(W) x 1550(H) (mm) 3．2 装片效率：2000~2400片/小时 3．3 碎片率：1/1000 3．4 工位数：双工位 3．5 设备兼容156x156mm、125x125mm两种规格的硅片 4．功率、重量 4．1 功率：500W 4．2 重量：约200Kg 5. 运输和安装 5．1 安装 5．1．1 安装调试前，应先认真检查设备及其附件，检查是否有破坏或遗漏的部分。 5．1．2 设备必须水平放置，安装时通过调整地脚螺栓，使设备达到水平。 5．1．3 连接电源、气源等。 5．1．4 按照要求对设备进行良好接地。 6．使用、操作 6．1 使用前的准备与检查 6．1．1 检查设备妥善安装，并将机器调至水平位置。 6．1．2 将所有电源开关及电器开关置于“关”位置，检查电 源是否合乎要求，机壳接地是否可靠。 6．1．3 检查供应的氮气、压缩空气压力是否满足要求。 6．2 设备面板上由一个启动按钮（绿色）、一个停止按钮（红 色）、一个急停按钮（红色蘑菇按钮）和触摸屏构成。 6．2．1 左边有一个报警蜂鸣器、台面上有左右两个篮具复位按钮。 6．2．2 确认设备正常后，打开电源开关，松开急停按钮显示开始画面如下（图2）：如使用完毕可以按下停止按钮（红色），紧急情况下可以按下急停蘑菇按钮，再关闭电源开关。 延时几秒后进入系统手动画面（图3）。 6．2．3 手动状态 “手动状态”注释表1 旋转停止/启动 按下凸轮旋转开始/再按下凸轮旋转停止 旋转吹气 按下分片吹气/再按下停止吹气 片盒上升 按下片盒步进上行，松开停止 片盒下降 按下片盒步进下行，松开停止 左带轮启动/停止 按下左带轮电机启动/再按下左带轮电机停止 右带轮启动/停止 按下右带轮电机启动/再按下右带轮电机停止 调试红灯开/关 按下警示灯红灯亮/再按下红灯暗 调试绿灯开/关 按下警示灯绿灯亮/再按下绿灯暗 吹气 按下硅片分离吹气开/再按下硅片分离吹气关 吸头A吸/放 按下吸头A吸气/再按下吹气 吸头B吸/放 按下吸头B吸气/再按下吹气 左篮上升 按下左篮具上升一格 左篮复位 按下左篮具下降到最底层 右篮上升 按下