太阳能硅片制造方法研究现状资料.pdf

2008 2008年8月 机械科学与技术 AugIIst Scienceand for V01．27No．8 第27卷第8期 Mechanical Techn0109yAerospaceEngineering 太阳能硅片制造方法研究现状 邱明波，黄因慧，刘志东，田宗军，汪 炜 (南京航空航天大学机电学院．南京2l0016) 邱明波 摘要：太阳能硅片的制造工艺主要包括硅片的切割以及绒面制备两部分。本文介绍了外圆切割、 内圆切割、多线切割及电火花线切割4种硅片的切割方法，综述了碱腐蚀、酸腐蚀、电化学腐蚀等9 种制绒工艺，并分析其适用范围和特点。提出随着太阳能技术的应用需求不断扩大和晶体硅原材 料供应的短缺，大尺寸超薄硅片切割技术的发展趋势将日益明显。最后指出了电火花电解复合线 切割具有切割与制绒一体化的特点，是硅片制造方法的一个发展趋势。 关键词：太阳能电池；硅片；切割；绒面 中图分类号：TG662 文献标识码：A 文章编号：1003．8728(2008)08—1017旬4 AReviewoftheFabricationMethodsforSolarSiliconWafer Qiu Yinhui，Liu Wei Mingbo，Huang Zhidong，TianZon舀un，Wang ofMech8nicalandElectrical ofAeronautic8and (College Engineering，NanjingUniversity Astmn8utics。Nanjing2lool6) 0fs01ar8iliconwafercoIlsist8ofwafer ofit8surface．We6瑙t are- Abs打act：FfIbrication 81icing跏dtexturing p弛∞nt viewofthe methods outer includiIlg 8licing di啪ond(OD)slicing，illIler electrical IIine alk8li cheIIlicaletch discharged稍re includingetch，acidetch，electrical slicing，aIldtexturingteclIrIiques and∞on．％entheir chamcteristic88re outthat 8ize肌dtlIin scope point of印plication肌d analyzed．We large very will of of methodbea the heliotechnic8andlackof8iliconmw technolog)，becau8e 8licing hopeful incre鹊ing8pplication