GB/T 18994-2003电子工业用气体　高纯氯.pdf

GB/T18994-2003 月吐 吕 本标准对应于国际半导体设备与材料组织SEMIC3.32;1995《纯度为99.996%的氯标准》(英文 版)，本标准与SEMIC3.32;1995的一致性程度为非等效，主要技术差异如下: — 质量指标中增加了对湿度的要求; — 对金属杂质的要求改为由用户和供应商之间商定; — 检验方法中根据我国的实际水平做了相应的改动 本标准的附录A是资料性附录。 本标准由原化学工业部提出。 本标准由全国气体标准化技术委员会归口。 本标准起草单位:光明化工研究设计院。 本标准主要起草人:孔祥芝、佘中玉。 GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯 范围 本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输及 贮存和安全要求。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规 模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域 分子式:Cl}。 相对分子质量:70. 906按1999年国际相对原子质量)。 101. 3 kPa下的沸点:-34. 05-C , 101. 3 kPa下的熔点:-101. 00C , 101. 3 kPa及20℃下气体的密度:2. 980 kQ/m , 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的必威体育精装版版本。凡是不注日斯的引用文件，其必威体育精装版版本适用于本标准 GB 190危险货物包装标志 GB 5099 钢质无缝气瓶(GB 5099-1994,neq ISO 4705) GB/T 5274气体分析 校准用混合气体的制备 称量法(GB/T 5274-1985,egv ISO 6142) GB/T 5832. 1气体中微量水分的测定 电解法 GB 7144气瓶颜色标志 GB/T 7445纯氢、高纯氢和超纯氢 GB/T 8980 高纯氮 要求 高纯氯的质量指标应符合表1的要求。 表 ， 质量指标 项 目 指 标 抓(Cla)气的体积分数 ) 99. 996火10- 氧(02)的体积分数 镇 4X10 氮(N2)的体积分数 ( 20X 10- 一氧化碳(Co)的体积分数 ( 1义10-s 二氧化碳(CO)的体积分数 簇 10 X 10-, 烃(C, ^-C2)的体积分数 镇 1X10-, 水(H20)的体积分数 ( 3又10-s 注:1. C,-C:系指CHC, Hi ,C, HC2 H6. 2.高纯抓中金属和颗粒的要求及检验由供方与用户商定。 标准分享网 免费下载 GB/T18994-2003 4 检验方法 4.1 取样 取样装置如图to 1 钢瓶卡子; 2一一接检测器; 3— 调节阀; 4— 接取样系统;