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- | 2012-07-31 颁布
- | 2013-02-01 实施
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GBT28632—2012表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定
ICS71.040.40
G04
中华人 民共和 国国家标准
/ — / :
GBT28632 2012ISO185162006
表面化学分析 俄歇电子能谱和
射线光电子能谱 横向分辨率测定
X
—
Surfacechemicalanalsis Auerelectronsectrosco andX-ra
y g p py y
—
hotoelectronsectrosco Determinationoflateralresolution
p p py
( : , )
ISO185162006IDT
2012-07-31发布 2013-02-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发 布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
/ — / :
GBT28632 2012ISO185162006
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
、 、
3 术语 定义 符号和缩略语 ……………………………………………………………………………… 1
4 一般信息 ………………………………………………………………………………………………… 2
5 直边法测量横向分辨率 ………………………………………………………………………………… 3
6 栅格法测量横向分辨率 ………………………………………………………………………………… 8
7 金岛法测量横向分辨率………………………………………………………………………………… 10
( )
附录 资料性附录 带聚焦 射线束斑的 仪器横向分辨率测定 ……………………………
A X XPS 14
( )
附录 资料性附录 二次电子线扫描谱横向分辨率测定 ……………………………………………
B 16
( )
附录 资料性附录 俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定 ……………………………………………
C 17
参考文献 …………………………………………………………………………………………………… 19
/
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