1依据规范书所载明之各废气风管数量、尺寸与材质进行验收.DOC

國家奈米元件實驗室 均覆性金屬薄膜沉機系統廢氣和廢水配管工程 招標規範書 目錄 頁次 一、 說明 3 二、 採購標的規範及數量 3 三、 未來擴充情形 5 四、 履約期限 5 五、 驗收標準 5 六、 保固 6 七、 附圖 6 說明 本規範適用於國家奈米元件實驗室100級潔淨室新增機台(均覆性金屬薄膜沉機系統)一般排氣與製程尾氣廢氣配管工程規範如有任何疑慮依業主解釋為準。 採購標的規範及數量 一般排氣1組(F1 GAS BOX設備端至一般排氣管路) 使用端接頭27.2φmm 材質：SUS304全銲管法蘭對接 管徑：27.2φmm 機台使用端含風門一組 需以軟管施工區域，軟管需為SUS304材質。 一般排氣1組(F1 PUMP Rack設備端至一般排氣主管) 使用端接頭100φmm 材質：SUS304全銲管法蘭對接 管徑：100φmm 機台使用端含風門一組 需以軟管施工區域，軟管需為SUS304材質。 製程排氣1組(DRP4/包含機台端至真空幫浦、真空幫浦至酸排氣主管) 使用端接頭NW40*1組 材質：SUS304無縫錶面拋光不鏽鋼管 管徑：KF40 幫浦出口端含球閥一組 製程排氣管路有高溫可能(25~110℃)各接頭使用O link需可承受。 製程排氣3組(DRP1、2、3/包含機台端至真空幫浦、真空幫浦至酸排氣主管) 使用端接頭KF50*3組 材質：SUS304無縫表面拋光不鏽鋼管 管徑：KF50 幫浦出口端含球閥一組 製程排氣管路有高溫可能(25~110℃)各接頭使用O link需可承受。 真空幫浦NW25接頭與盲板。 酸鹼廢水管1組(包含機台端至酸鹼廢水管路銜接) 材質：PVC S80 管徑：1/2 inch 機台擺放位置與風管主管垂直相關位置、穿牆與樓板部分即施工難度，請參投標廠商務必進行現場丈量與評估。 管路走向與位置安排請至現場勘查與丈量，並與承辦人協調後始可施做。 幫浦出口端以後製程排氣管路，需考量未來清洗拆裝。需以銜接方式進行，各單根管件長度不得超過3m，寬度及高度不得超過1m。 各類排氣管路須有足夠支撐架，支撐架3米。一般排氣需於明顯處(依業主需求)標示排氣類別與方向。 管路與高架地板切割必需至潔淨室緩衝區進行切割，不得於現場(無塵室內)切割。每日施工完畢後需清理工作區域，並恢復原狀。製程排氣管路幫浦須能迅速(15mi)抽至幫浦將以氦測漏儀對各焊道與管路進行氦測漏。因測漏造成延誤驗收期限及相關罰款問題，廠商需自行負責) 國家奈米元件實驗室 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES 購案編號： NDL-C-100194 頁 數 PAGE: 1 OF 6 購案名稱： 均覆性金屬薄膜沉積系統廢氣和廢水配管工程 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. filename：均覆性金屬薄膜沉機系統廢氣配管規範書 (2).doc