CVD法制备ZnO薄膜生长取向和表面形貌 - 发光学报.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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CVD法制备ZnO薄膜生长取向和表面形貌 - 发光学报

29 2 V ol129 N o12 200 8 4 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE A pr. , 2008 : 1000-70 32 2008) 02-0294-05 CVD法制备 ZnO薄膜生长取向和表面形貌田珂, 施媛媛, 徐小秋, 钟声, 傅竹西* , 230026) : CVD , , Si 100) ZnO , ZnO FESEM ZnO , Zn 1B1, ZnO { 101} ) , 10B 1 { 00 1} ) XRD , 101) 202) , 002) 101) , , ZnO { 101} , , [ 00 1][ 10 1] : CVD; ZnO ; ; : O 484. 1; O 766 PACC: 6150C; 8110B : A [ 6 ~ 8] [ 101] ZnO 1 引言 CVD , Zn ZnO O2 [ 101] ZnO , [ 1] ZnO { 101} { 00 1} 2 实验 { 100 }{ 10 1}, { 001} , A P-CV D) , ZnO , [ 2] { 001} ZnO { 101} CVD , , , , [ 3] , , , ZnO , [ 4, 5] , , 8 mm , , , , ZnO { 001} 6 L / h O2 , ZnO { 001} N , , O , N 2 2 2 [ 5] , ZnO 1 , [ 100] [ 10 1] , M 18X X , , [ 101] XRD , X-650 , FESEM : 2007-10-25; : 2007- 11-24 : 1047409 1) : 1982 - ) , , , , ZnO E-m ail: kt ian@ m ail. ustc. edu. cn, T el: 0551) 360 1072 * : ; E-m ail: