压阻式复合惯性加速度传感器的研究!.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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压阻式复合惯性加速度传感器的研究!

第卷第期增刊仪器仪表学报年月 #1 1 #4 5 压阻式复合惯性加速度传感器的研究! # 迟晓珠金鸿章王劲松哈尔滨工程大学自动化学院哈尔滨 $ %’ # 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系统哈尔滨 $ %’ 摘要对于压阻式复合惯性加速度传感器的惯性变换系统的结构特性工作原理进行了分析讨论建立了数学模型所设计的 ( ) ) 惯性式弹性敏感元件能分别将线加速度产生的惯性力及角加速度产生的惯性力矩转换成弹性梁的变形通过应变计及电路 ) ) ) ) 将此变形转换成为可测的电学量并能通过合理组合的测量电桥消除线加速度及角加速度之间交叉耦合影响并用试验证实 * ) * 了该惯性系统设计合理它可以作为线加速度及角加速度复合测量用 ) * 关键词复合压阻式线加速度角加速度传感器 +,-,./012345,62/,-5-758,92:;,=,?3,/75.@00,,/2:,7,/ # ABCDCEFGBH ICJKFJLGBEJL MEJLICJNFJL O $ ) ) OdeeeO) ’ PQRSTURVSWXSYYZ[Z \U]^VW_W[VWZZ]VW[‘WVaZ]bVRc \U]^VW XfVWU g $ j j ) OdeeeO) ’ hZiR SkPQRSTURZlmZbRUWlXSWR]SY \U]^VWnWbRVRQRZSkmZofWSYS[c \U]^VW XfVWU ) ) @p-7/.07 qJrBCNEsrCtuv rBvtFJNrsHtrCFJtBEsEtrvsCNrCt wFsxysCJtCyuvFzrBvtF{yuv|rsEJNzFs{ErCFJN}Nrv{