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广州中冷贸易有限公司 电话：（86-20 ）8605 8212 传真：（86-20 ）8605 8599 E-mail:CRRsales@126.com 超低温冷媒/ 电子特种气体 HFC 系列冷媒：R134a、R410A、R407C、R417A、R404A、R507、R23、R508A、R508B、R152a HCFC 系列冷媒：R22、R123、R124、R141b、R142b、R402A、R402B、R408A、R409A CFC 系列冷媒：R11、R12、R13、R502、R503 PFC 系列冷媒：PFC-14、PFC-116、PFC-218 HC 系列冷媒：R170、R290、R600a、R1270 ★PFC-14 （四氟化碳） 物化性质 四氟甲烷（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦称四氟化碳，全氟化碳，PFC-14 （R-14）。分子式：CF 。相对 4 分子量：88.00 。在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。液体密 度（-130℃）1.613g/cm3 ，临界温度-45.67℃，临界压力3.74Mpa，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa，介电常数（25℃，0.5Mpa ） 1.0006。挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900 摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微 溶于水，在25 摄氏度及0.1Mpa 下其溶解度为0.0015 ％（重量比），然而与可燃性气体燃烧时， 会分解产生有毒氟化物，危险 性类别为第2.2 类不燃气体。 主要用途 四氟甲烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、 二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温 制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 包装运输 四氟甲烷对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5Mpa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检 广 州 中 冷 贸 易 有 限 公 司 地址：中国广州市白云大道北 1392 号321-322 室 邮编：510440 E-mail ：CRRsales@126.com 电话：020 传真：020 一个中国。一家冷冻化工公司。一站解决。 - 1 - 广州中冷贸易有限公司 电话：（86-20 ）8605 8212 传真：（86-20 ）8605 8599 E-mail:CRRsales@126.com