金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工-应用化学.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工-应用化学

21 3 Vol.21 No.3 2004 3 　　　CHINESE JOURNA L OF APPLIED CHEMIST RY 　　　 Mar.2004 a a a b b a a ＊刘柱方　蒋利民　汤　儆　刘品宽　孙立宁　田中群　田昭武 a b (, 　361005;　) 　　(CELT )(Cu), Cu CELT 。, Cu 。(SEM )(A FM ) , CELT 。　(CELT ), , , :O646.6 　　　　　:A　　　　　:1000-05 18(2004)03-0227-04 (M EMS )(Mi rosystem ),、, 、、、、, [1,2] 。、 ,、、、、、、、, ,, , 。M EM S , 。、、 [3, 4] 、LIGA EFAB , 。, 1992 (Confined Et hant Layer Te h- [5, 6] nique CELT ) ,, (、), 。CELT : ,, , , ,, [5,6] , 。, [7,8] , Cu , MEMS 。,Cu MEMS 。 ,CELT 。 1　 ,Pt # # 。Cu (99.99%, ),Cu 0.2 mm 。4 ～6 , Al O , 。, 2 3 ,Pt , 。 -3 2 XHD-II , 12.5×10 A/ m ,Cu 。()x 、y 、z 3 2003-06-13 , 2003-09-30 “”(2002AA404170) :, , 1927 , ;E-mail:zqtian @xmu.edu.n;: 228 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　2 1　 , z PZT ,(50 nm) , Cu 。XL-30 (Philips )NanoIII A (Digital Instruments )Cu 。 Pt , 2 mm, Al O , 3 。。 2 3 2　 2.1　Cu CELT 。 Cu ,HNO3 。CELT , HNO , 3 HNO 3 ,。, -