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Mg注入对GaN晶体辐射损伤的研究-物理学报
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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（ ）
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! # 注入对$% 晶体辐射损伤的研究!
蒙 康 姜森林 侯利娜 李 蝉 王 坤 丁志博 姚淑德!
（北京大学物理学院，北京 ##$%）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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在蓝宝石衬底上通过金属有机物化学气相沉积（ ， ）方法外延生长的
*+,-./012-345 56+*45-. 7-801 9+80:4,403 ;=?
薄膜具有良好的结晶品质， 达到 结合卢瑟福背散射 沟道（ ，
@-A *43 B## C D E FG,6+1H019 I-5J:5-,,+1432E 56-33+.432 FKLE
!
=）和高分辨 射线衍射（ ， ）的实验测量，研究了不同剂量和不同角度 P 注入
M 6426/1+:0.G,403 M/1-N 94HH1-5,403 OMF? ;2
@-A 所造成的辐射损伤D
实验结果表明，随注入剂量的增大，晶体的辐射损伤也增大，注入剂量在 ’ 以下， 小于
Q # -,0*E 5* *43
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， R 是 P 注入 的剂量阈值，超过这个阈值，结晶品质急剧变差， 达到 ；随机注
) B%$C Q # -,0*E 5* ;2 @-A *43 ( B’ C
!
入比沟道注入的辐射损伤大，且在一定范围内随注入角度的增大，损伤也增大，在 ’ 剂量下偏离
) Q # -,0*E 5*
〈 〉沟道 ， ， ， 时的 （ ）分别为 ， ， ， ；经过 两步退火和
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