SOI材料在光电子学中的应用-激光与红外.PDF

第４２卷　 第１期 　　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．１ 　 ２０１２年１月　　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊａｎｕａｒｙ，２０１２ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１２）０１００１３０５ ·综述与评论 · ＳＯＩ材料在光电子学中的应用 １ ２ 陈媛媛 ，杨　笛 （１．北京工商大学计算机与信息工程学院，北京 １０００４８；２．中央民族大学理学院，北京 １０００８１） 摘　要：ＳＯＩ材料是应用于硅基光电子学中的一种重要的光波导材料。近年来随着ＳＯＩ材料 制备和加工技术的成熟，ＳＯＩ基光波导器件的研究日益受到人们的重视。文章介绍了ＳＯＩ材 料在光电子学领域的一些具体应用，包括了在热光器件、电光器件、亚微米波导器件与光纤的 耦合器以及光电子集成芯片等方面的必威体育精装版研究进展。更小的波导截面尺寸是未来ＳＯＩ光波导 器件发展的必然趋势。 关键词：ＳＯＩ；光波导；硅基；光电子学；热光；电光 中图分类号：ＴＮ２５２　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１２．０１．００３ ＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＳＯＩｍａｔｅｒｉａｌｓｉｎｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ １ ２ ＣＨＥＮＹｕａｎｙｕａｎ，ＹＡＮＧＤｉ （１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＣｏｍｐｕｔｅｒａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＢｅｉｊｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＢｕｓｉｎｅｓｓＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００４８，Ｃｈｉｎａ； ２．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＣｅｎｔｒａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｆｏｒＮａｔｉｏｎａｌｉｔｉｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００８１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎｏｎｉｎｓｕｌａｔｅｒ）ｍａｔｅｒｉａｌｉｓａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔｋｉｎｄｏｆｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅｍａｔｅｒｉａｌｓｆｏｒｓｉｌｉｃｏｎｂａｓｅｄｏｐ ｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ．Ｉｎｒｅｃｅｎｔｙｅａｒｓ，ｗｉｔｈｔｈｅｍａｔｕｒａｔｉｏｎｏｆｆａｃｔｕｒｅａｎｄｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＳＯＩｍａｔｅｒｉａｌ， ｔｈｅｒｅｓｅａｒｃｈｏｎＳＯＩｂａｓｅｄｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅｄｅｖｉｃｅｓｈａｖｅａｔｔｒａｃｔｅｄｍｏｒｅａｎｄｍｏｒｅａｔｔｅｎｔｉｏｎｓ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｔｈｅｓｐｅｃｉｆ ｉｃａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＳＯＩｍａｔｅｒｉａｌｉｎｓｉｌｉｃｏｎｂａｓｅｄｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｒｅｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇｔｈｅｒｅｃｅｎｔｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｓｉｎ ｔｈｅｒｍｏｏｐｔｉｃｄｅｖｉｃｅｓ，ｅｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃｄｅｖｉｃｅｓ，ｏｐｔｉｃａｌｃｏｕｐｌｅｒｗｈｉｃｈｃｏｎｎｅｃｔｓｓｕｂｍｉｃｒｏｎｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅａｎｄｆｉｂｅｒ，ｉｎ ｔｅｇｒａｔｅｄｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｃｈｉｐｅｔｃ．ＳｍａｌｌｅｒｗａｖｅｇｕｉｄｅｃｒｏｓｓｓｅｃｔｉｏｎｉｓｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｉｎｇｄｉｒｅｃｔｉｏｎｏｆＳＯＩｂａｓｅｄｏｐｔｉｃａｌ ｗａｖｅｇｕｉｄｅｄｅｖｉｃｅｓｉｎｔｈｅｆｕｔｕｒｅ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎｏｎｉｎｓｕｌａｔｅｒ）；ｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅ；ｓｉｌｉｃｏｎｂａｓｅｄ；ｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ；ｔｈｅｒｍｏｏｐｔｉｃ；ｅｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃ １　引　言