SU-70新型日立分析型热场发射扫描电镜.PDF

TECHCommunication 天美通讯 电镜专刊 2006 9 月 SU-70 新型日立分析型热场发射扫描电镜 为了满足在一台仪器上同时进行综合分析 (需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求， 日立开发了SU- 70 。采用成熟的超高分辨率 半内透镜技术与热场发射电子枪相结合，为探 索纳米世界打开了一扇新的大门。 特点: 1. 100nA 的大探针电流 100nA 的大探针电流来自新开发的肖特托 基电子枪 2. 通用的分析型样品室 新 预留了多种接口，可以安装以下附件进行 分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低 温台，样品室CCD 3. 无场模式(FF模式) FF 模式可用于在超高分辨率 本 期 导 读 SEM 中观察磁性样品及EBSP SU-70 型日立分析型热场发射扫描电镜 4. 超高分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减 1 速模式)超高分辨率的获得利用了日立已被 S -4800 冷场发射扫描电镜分析截面样品 检验的半内透镜技术。 2 S - 3 4 00 优良的低加速电压性能 5. 超级ExB 技术用于控制SE/BSE 信号检测消 4 除放电现象及信号混合 台式电子显微镜TM - 1000 的应用实例 7 6. 超低着陆电 用于浅表面观察(减速模式) 浅谈负染色技术及应用 电子束减速技术保证了超低电 的高分辨 10 成像 S-3700N 大样品室分析型可变压扫描电镜 12 - 1 - 技术应用 S-4800 场发射扫描电镜分析截面样品 李永良 (北京师范大学分析测试中心，100875) S-4800 型高分辨场发射扫描电镜（以下简称S-4800 ）为日本日立公司于2002 年推出的产品。该电镜的电子发射源 为冷场，物镜为半浸没式。采取了改进的电子光学设计（EXB）来收集和分离各种不同的纯二次电子信号，复合二次电子信号 及背散射电子信号。与其它许多内置透镜FESEM 相比，S-4800 拥有超高的分辨率，加速电压为15KV 时，二次电子图像分辨 率为1 nm ，这是目前半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平，有利于纳米材料的高分辨分析;在低加速电压 （1kV）下的二