深圳市晶庆光电有限公司设备手册2016版.PDF

2016 V01 深圳市晶庆光电有限公司 SHENZHEN CITY CELEBR-CRYSTAL OPTOELECTRONIC LTD. 公司简介 深圳市晶庆光电有限公司专注为工业自动化提供光学产品及光 学系统解决方案，有着极强的光学设备及非标设备研发定制能力。其 开发团队脱身于原公司 Supermask，主要从事 FPD、以及其他电子非 标设备研发制造的企业，工程师有着多年的开发经验，掌握了多项高 端设备的核心技术，参与过多项国家重点项目的建设，产品及技术应 用领域也逐步扩展到半导体、LED、太阳能等相关领域，多项技术/ 产品获得了国家的专利。 晶庆光电在开发大面积、高精度测量设备、修补设备及高精度检 测设备上积累了丰富的经验，多款设备填补了国内空白。 晶庆光电秉承 “客户至上”的理念，快速响应客户的需求，给客 户开发/定制各种成功的非标设备。 目 录 高精度CD测量机 硅基芯片拾放设备 坐标测量设备 LD共晶焊 环保清洁设备 机械手臂应用项目 脉冲加热电源 其他小设备 高精度CD测量机 ●主要技术指标 型号 CDM1200 输 入 电 压 单相220V/10A 测量范围 850mm ×1200mm 测量精度 ≤10 (nm) XY平台重复精度 1um Z轴行程 50mm 温度 0 23±1 C 湿度 40%~60%RH 净化级别 Class100 显微镜配置 nikon cfi60系列 聚焦方式 激光自动聚焦 ●应用领域 ☞IC TFT光罩线宽测量 ☞高精度MASK 菲林坐标测量 ☞IC TFT CD测量 硅基芯片拾放设备 ●主要技术指标 范围 500 ×500mm 驱动方式 直线电机，伺服电机 取放高度 50mm 运动速度 500mm/s 贴放精度 +/-10um 温度控制 120+/-1° 角度精度 +/-0.5° 图像识别，匹配功能 有 XY平台重复定位精度 +/-2 μm ●应用领域 ☞芯片取放，排列 ☞超小SMD贴片 ☞精密涂胶，点胶 ☞最小200微米芯片拾取 坐标测量设备 ●主要技术指标 测量最大尺寸 100X100X10mm 驱动方式 直线电机+光栅尺 重复精度 3 σ 1um 分辨率 0.1um 再现精度 3 σ 3um CCD 200万像素 1/2inch XY导轨直线性 0.1um/100mm 物镜配备 10X/NA0.3 0.6X XY导轨垂直度 0.1” 自动聚焦 PI精密压电陶瓷+图像 ●应用领域 ☞高精度PCB 菲林 测量