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第 卷 第 期 液 晶 与 显 示 , 24 4 Vol.24No.4           年 月 , 2009 8 ChineseJournalofLiuidCrstalsandDislas Au.2009 q y p y g 文章编号: ( ) 10072780200904047107 犔犆犗犛微显示技术 代永平 (南开大学 光电子薄膜器件与技术研究所;天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室; 光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学),天津 , : ) 300071Emaildai nankai.edu.cn   yp@ 摘 要:硅上液晶( )显示技术是一种反射式液晶显示技术,其周边驱动器和有源像素 LCOS   矩阵使用 CMOS技术制作在单晶硅上,并以该晶片为基底封装液晶盒,因而拥有了小尺寸和 高显示分辨率的双重特性。文章介绍了LCOS显示器的原理、制造技术和应用领域,对其发 展前景进行了展望。 关 键 词:LCOS屏;反射式;微投影;光机     中图分类号: ; 文献标识码: O753.2TN27 A     发展, 技术现在已经进入了一个相对成熟 LCOS 1 引 言      时期,市场上可见的显示产品分为 类: 3 世纪 年代初, 产业开始 ()高清大屏幕投影机 20 90 aSiTFTLCD 1 形成规模,并逐渐在平板显示市场占据了统治地 主要面向 ( )以上的投影产品市 1.5m 60in 位。但aSiTFT由于载流子迁移率低,不适合与 场,现已开发出应用于大型数字高清影院的超高 周边电路集成一体化,在小尺寸、低功耗、高分辨 分辨率( ) 显示芯片,并成为高 3840×2048LCOS 率显示方面受到制约。当该项技术由 aSi玻璃 端影院投影机产品采用的主要技术。LCOS核心 基板转移到单晶硅片上以后,发展成为硅上液晶

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