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犕犈犕牦阳极键合界面层的力学行为研究进展-欢迎访问南京航空航天
第 卷第 期 南 京 航 空 航 天 大 学 学 报
４７ ４ Ｖｏｌ．４７Ｎｏ．４
年 月
２０１５ ８ Ａｕ．２０１５
ＪｏｕｒｎａｌｏｆＮａｎｉｎ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓ＆Ａｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ ｇ
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ＤＯＩ１０．１６３５６ ．１００５２６１５．２０１５．０４．００３
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犕犈犕犛阳极键合界面层的力学行为研究进展
胡宇群 董明佳
（南京航空航天大学民航学院，南京， ）
２１００１６
摘要：回顾了微纳机电系统（ ／ ， ／ ）器件工业中所用键合技术
ＭｉｃｒｏＮａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｓｔｅｍ ＭＥＭＳＮＥＭＳ
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的发展和应用，总结了作为其中关键键合技术之一的阳极键合在微纳系统中的重要作用及其主要特点，分析了
阳极键合的机理以及所涉及的力学问题，如键合力（静电力、表面力等）作用下的表面粘着；电场作用下接触界面
处粒子的扩散、反应；键合界面层中的残余应力等。阳极键合界面层的力学行为及特性直接关系到 ＭＥＭＳ器件
中微机械结构的安全与可靠性。对这些问题的研究，有助于更好地理解阳极键合，为 ／ 器件的设
ＭＥＭＳＮＥＭＳ
计、制造加工以及实际应用提供许多有益参考。
关键词：微型机电系统；阳极键合；力学行为；键合技术
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
Ｖ５５６．７ Ａ １００５２６１５２０１５０４０４７４１３
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ＣｏｌｌｅｅｏｆＣｉｖｉｌＡｖｉａｔｉｏｎ Ｎａｎｉｎ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓ＆Ａｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ Ｎａｎｉｎ ２１００１６ Ｃｈｉｎａ
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