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玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究StudyonaLow-costand
2007 年第65 卷 化 学 学 报 Vol. 65, 2007
第17 期, 1863～1868 ACTA CHIMICA SINICA No. 17, 1863～1868
·研究论文·
玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究
陈 强a,b 李 刚a,b 潘爱平c 金庆辉a
赵建龙*,a 程建功a 徐元森a
(a 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海 200050)
(b 中国科学院研究生院 北京100039)
c
( 南通大学附属医院 南通 226001)
摘要 研究了一种玻璃微流控芯片的快速、低成本制作工艺和方法. 该方法采用商品化的显微载玻片(soda-lime 玻璃)
作为芯片基质材料, 利用AZ 4620 光刻胶代替传统工艺中的溅射金属层或多晶硅/氮化硅层作为玻璃刻蚀的掩膜层, 同
时利用一种紫外光学胶键合方法代替传统熔融键合方法实现芯片的键合, 整个工艺对玻璃基质材料要求低, 普通微流
控芯片(深度小于50 μm)制作流程仅需约3.5 h, 可降低制作成本, 缩短制作周期. 还系统地研究了光刻胶厚度、光刻胶
硬烘时间和玻璃腐蚀液配比对玻璃微流控芯片制作的影响, 获得了优化的工艺参数.
关键词 微流控芯片; 湿法刻蚀; 紫外胶键合; 微加工技术
Study on a Low-cost and Fast Fabrication Method of
Glass Microfluidic Chips
CHEN, Qianga,b LI, Ganga,b PAN, Ai-Pingc JIN, Qing-Huia ZHAO, Jian-Long*,a
CHENG, Jian-Gonga XU, Yuan-Sena
a
( Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050)
b
( Graduate School of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039)
(c Affiliated Hospital of Nantong University, Nantong 226001)
Abstract This paper describes a low-cost, fas
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