组合法制备Pb（Zr铁电薄膜及性能研究.PDF

第２２卷　 第４期 材　 料　 科　 学　 与　 工　 艺 Ｖｏｌ２２ Ｎｏ４ 　 　 ２０ １４年８月 ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ ＳＣＩＥＮＣＥ ＆ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ａｕｇ． ２０１４ 　 　 　 　 　 　 组合法制备Ｐｂ（Ｚｒ Ｔｉ ）Ｏ 铁电薄膜及性能研究 － ｘ １ ｘ ３ 何　 岗，彭　 超，赵德森，何明中，洪建和，栗海峰，公衍生 （中国地质大学（武汉） 材料与化学学院，武汉４３００７４） － － 摘　 要：为了系统地探讨Ｐｂ（Ｚｒ Ｔｉ ）Ｏ （ＰＺＴ）薄膜组成 结构 性能之间的规律，在室温和无蒸馏回流条件下，利用配 － ｘ １ ｘ ３ 制的前驱溶液ＰＴ（Ｐｂ和Ｔｉ 的金属有机物溶液）和ＰＺ（Ｐｂ和Ｚｒ 的金属有机物溶液）及组合化学法在Ｐｔ／ Ｔｉ／ ＳｉＯ／ Ｓｉ衬底 ２ 上简单快捷地制备了一系列Ｐｂ（Ｚｒ Ｔｉ ）Ｏ 薄膜．ＸＲＤ分析表明，薄膜具有钙钛矿结构，择优取向为（１１１），晶格参数变 － ｘ １ ｘ ３ ＝ 化规律与传统方法制备的ＰＺＴ 薄膜的结果一致．ｘ ０．３ 的前驱体在２００ ℃附近出现特殊的热分解现象．ＸＰＳ 测试结果证 实薄膜成分基本符合理论值，ＳＥＭ结果显示薄膜界面清晰，与基片接触良好，厚度在４５０ ｎｍ左右．电滞回线测试表明，富 钛区样品剩余极化与矫顽场都较大；近准同型相界附近样品具有良好的铁电性，剩余极化较大且矫顽场较小；富锆区样 品剩余极化与矫顽场较小，出现反铁电特征． 关键词：化学溶液分解；组合合成；Ｐｂ（Ｚｒ Ｔｉ ）Ｏ ；薄膜；铁电性 － ｘ １ ｘ ３ － － － 中图分类号：ＴＭ２２；ＴＢ４３ 文献标志码：Ａ 文章编号：１００５ ０２９９（２０１４）０４ ００２５ ０５ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ｐｂ（Ｚｒ Ｔｉ ）Ｏ ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ － ｘ １ ｘ ３ ｆａｂｒ