薄膜厚度对铁电薄膜铁电性能的影响-哈尔滨工程大学学报.PDF

第30卷第9期 哈尔滨工程大学学报 V01．30№．9 ofHarbin 2009年9月 Journal EngineeringUniversity Sep．2009 doi：10．3969／j．issn．1006—7043．2009．09．019 薄膜厚度对铁电薄膜铁电性能的影响 李琳1，周振功2 表面效应的条件下，获得了不同应力情况下，不同厚度铁电薄膜的电滞回线及蝶形应变迟滞回线．计算结果显示，处于不 同应力值下的铁电薄膜，剩余极化强度和场致应变随着薄膜厚度的增加而增加，而矫顽场随着薄膜厚度的增加而减小． 证明了不同应力情况下，薄膜厚度对剩余极化强度和矫顽场的影响是不能忽略的．这种变化趋势与实验结果的情况是一 致的． 关键词：铁电薄膜；薄膜厚度；应力；电滞回线 中图分类号：0482．52文献标识码：A文章编号：1006-7043(2009)09—1070-05 Effectsoffilmthicknessonthe offerroelectricfilm properties LILinl，ZHOU Zhen—gon92 Centerfor (I．EngineeringTrainingCenter，HarbinEingineeringUniversity，Harbin150001，China；2．ResearchCompositeMaterials， HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) effectsinto effectofthicknessonferroelectficfilmswasin． bothstressandsurface account．the Abstract：Bytaking the and of vestigatedbyusing Ginzburg—Landau time—dependent equation．Polarizationhysteresisbutterflyhysteresis variousfilmthicknessesunderdifferentstresseswere simulated．Theresultsshowthatunderdifferent numerically coercive theremnant and stresses．thefielddecreaseswithfilmthickness。while field—inducedstrainin． polarization creasewithfilmthickness．Thesetrendsayeconsistentwith resultsand thattheeffectoffilm experimental verify thicknessonremnant andthecoercivefieldshouldnotbe polarizationstrength neglected． Keyw