薄膜的特性-浙江大学物理系.PDF

真 空 科 学 与 技 术 第 卷 第 期 用于永久性存贮器 ’ 薄膜 的特性 许 宇庆 陶 向 明 叶 高翔 葛洪 良 张 其瑞 浙江大学物理 系 杭 州 年 月 日收到 一 , , , , 口 尸 比 , , 。 摘要 用 磁控射频溅射方法 制备 了 。 。 薄膜 研 究 了制膜工艺对 。 薄膜 、 。 、 。 相 结 晶性和 铁 电特性 的影 响 实验表 明 , 所制备 的薄膜表面致密 光滑 此 薄膜 以钙钦 、 。 矿 结构为主 , 并具有较 高 的剩 余极化 饱和 极化和较 小的矫顽场 从实验结果分析得 , 通过控制工艺条件所 。 制得 的单相钙钦矿 型 的 。 。 薄膜 的铁 电特性得到 很大提高 并制备 出用于 永 久性存贮器 的 。 。 优质 。 。 薄膜 关键词 铁 电 薄膜 存贮器 引言 , 二 一 二 。