超精密定位与微位移系统.PDF

超精密定位與微位移系統 壓電陶瓷材料 超精密定位技術 超精密位移檢測技術 超精密定位與微位移系統 前言 超精密定位與微位移系統需求 鑽石車刀加工幾何形狀誤差小於0.05µm 大規模積體電路製版精密工作台定位精度超 過0.05µm 超精密微位移解析度超過0.006µm …… 微位移系統 微位移機構 撿測裝置 位移控制系統 壓電陶瓷 (piezoelectricity ceramics) 壓電陶瓷 壓電陶瓷材料 壓電陶瓷應用 超精密定位與微位移系統 壓電陶瓷 概論 點火頭 Specification: 1) Piezoelectricity Ignition 2) Ignition Efficiency is more than 90% 3) The valve with the automatic lock 4) The lifetime of valve is more than 30,000 times 旋轉壓下開關 可產生電 超精密定位與微位移系統 壓電陶瓷 概論 1880年，居里兄弟(J. Curie P. Curie)發現加 應力於石英(quartz)或電石(tourmaline)上時， 可產生電偶極現象。 壓電效應(piezoelectricity)： 機械力轉換成電力 壓電逆效應： 1881年，李普夢(Lippman)發現 電場加於壓電結晶上，結晶產生機械應變 超精密定位與微位移系統 壓電特性 壓電性是指對沒有對稱中心的晶體外加電 場，會產生應變；反之，若給予晶體外加 應變，也會產生電極化的改變。 晶體電極化之改變同時會受外在應力與溫 度的影響，則稱作焦電性。 然而並非所有的壓電材料與焦電材料都具有 鐵電性，直到 1920 年由法國人Valasek 發現 在酒石酸鉀納 (NaKC4H4O6 ⋅4H2O) 中特異的 介電性質，才開啟了鐵電材料研究的熱潮。 超精密定位與微位移系統 壓電效應(piezoelectricity) 超精密定位與微位移系統 壓電效應(piezoelectricity)與逆效應 Piezoelectricity converts a force applied to a crystal