PDF-SAW谐振器传播属性的有限元仿真.PDF

第 卷 第 期 压 电 与 声 光 ｏｌ．３４Ｎｏ．４ ３４ ４ Ｖ 　 　 　 　 年 月 ．２ ２０１２ ０８ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ａｕ ０１２ 　 　 ｇ 文章 编号 ： ２４ （ ） ０５ ０４ １０ ０４ ０１ 　　 － － － ＳＡ 谐振器传 播属性的有限元仿真 Ｗ 黄 小 ， ， 林 林 曹 培 朱 嘉 　 （ ， ） 北 京 信 息科 技大 学 传感技术 研究 中心 北 京 １００１０１ ： （ ） （ ） ； 摘 要 首 先从 理论 上 阐述 了声 表面波 ＳＡＷ 谐 振 器 传 播 属 性 的 有 限 元 分 析 ＦＥＡ 法 然 后 利 用 ＡＮＳＹＳ软 　　 　 ， ； ： 件 对 ＳＴ切 石 英 晶片 的 ＳＡＷ谐振 器 进行模态 分析 和谐 响 应 分 析 最 后 处 理 仿 真 结 果 并 得 到 结 论 通 过 合 成 表 面 ， 节 点横 向和纵 向的模态位 移 得 出 ＳＡ 中质点 的运 动 轨 迹 是 椭 圆 通 过模态 频率 和对应的波 长算 出 ＳＡ 在 切 Ｗ Ｗ ＳＴ 石 ， ， 英 晶片 中的传播速度 通 过 分析 纵 向节点模态 位 移 得 出 的能量 集 中在距 表面 个 波 长 深 度 的范围内 通 过 ＳＡＷ ２ n 。 ， 幅频特 性 图得 出谐振器 在 ＳＡ 频率 处 具 有 最 大 的频 率 响 应 这 些 结 论 与 理 论 基 本 一 致 为 设 计 ＳＡ 器 件 和 研 Ｗ Ｗc 究 ＳＡＷ传感 器提 供 了仿真 依 据 。 ： （ ） ； ； ； 关键词 声表面波 Ｓ 谐振 器 传播属性 有限元 切 石英 ＡＷ ＳＴ . 中图分类号 ： ； ；