第9章现代光电检测技术与系统(汪凯巍班)-浙江大学光电科学与工程.PPT

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第9章现代光电检测技术与系统(汪凯巍班)-浙江大学光电科学与工程

* * * * * * 2. 基于双目立体视觉的空间目标坐标测量 基于双目立体视觉的CCD成像技术(Binocular vision) 图9-41 两台CCD交汇测量空间目标坐标原理图 事先标定焦距f1 ,f2,测出基线长度d0,交汇角α0 β0,由像高h1、h2可以求出靶面上任意位置点的坐标 * 2. 基于双目立体视觉的空间目标坐标测量 Binocular vision 被测件 测得三维数据 重建表面模型 引自“基于平面模板自由拍摄的双目立体测量系统的现场标定” * 2. 车牌识别 * 2. 车牌识别 * 图9-42~图9-44是以三种光弹性材料作为研究对象,在同等受力条件下红外热成像和光弹性测试的对比实验结果。 图9-42 三点弯曲梁的等和线和红外热图 3. 基于热成像技术的应力分析 * 图9-43 径向受压圆环的等和线和红外热图 * 图9-44 径向受压圆盘的等和线和红外热图 * 基于热成像技术的应力分析具有如下特点。1)等和线条纹和红外辐射等温层的形状极其相似;2)区域分布对应性很好,高应力区温度变化大,而低应力区温度变化小,并且等和线条纹和等温层的梯度变化是相似的;3)拉应力区和压应力区分别对应着红外辐射降温区和升温区,而在等和线图中,拉应力区和压应力区分别对应着正级和负级条纹;4)零应力区有明显的对应,比如拉、压应力区的交界。 这说明,应力变化对应着等和线与等温层的变化,这种对应关系是有确定性的,呈线性关系。 * 回顾教学愿景 认识到“光电检测很有用” —— 境界一,50分 学会构建光电检测系统 —— 境界二,60分 对光电检测建立浓厚的兴趣 —— 境界三 90分 没有任何兴趣爱好的人生是个杯具 * 教学愿景 养成“主动积极”的习惯 —— 境界四 100分 史蒂芬·柯维:成功人士的必备习惯之一。 成绩与成功的关系?? 学习上:主动提出问题,解决问题。 工作上:主动向上级汇报工作,积极争取机会。 家庭上:主动承担更多的责任 /liter/habitsofpeople/ 期末感言 在我心中,学生没有好坏、优差、聪愚之分,而只有对这门课(或其它课)感不感兴趣之分。 我尊重每一位上课的同学,不因他喜欢不喜欢这门课。 如果10年以后你还能记得我并认为我对你的成长有所帮助,我将为此而感动! * 光刻系统需要超精密镜片 尺寸大到数百mm 精密的物镜需要精确的测量 测量精度要求在nm数量级 绝大多数情况下采用干涉仪作为测量手段 * * 2 球面子孔径拼接 完成了凸球面的子孔径拼接程序,拼接精度PV值优于1/500波长。误差的主要原因是由于各子孔径间的重合点并非整点,故需要进行插值。 下图给出了球面的原始面形,子孔径划分方式以及拼接后的面形,图中单位为波长。可见拼接前后的误差PV值优于1/500波长。 图1.3 子孔径拼接结果:原始面形、子孔径划分方式以及拼接后的面形 原面形PV:0.12753 子孔径拼接:0.12752 * * 1.3 非球面子孔径拼接 用VeriFire对一个口径为55mm,非球面方程为 的非球面进行了环带扫描测量,取得了1个中心孔径面形和10个环带面形,最后对这些环带进行拼接,结果如图1.4所示。 (a)VeriFire干涉仪检测结果(PV:1.384 (b)环带拼接结果,PV:1.185) 比较可以看出,PV值相差不大,面形相似;但细节有较大差异。原因可能是拼接过程去除了部分面形数据 * 此时能否获得正确的表面形貌? 抗干扰测量! 能!抗干扰测量 像素 (a)获取的干涉图像 (b)台阶的测量结果 超分辨干涉测量 传统干涉测量受限于衍射极限 超分辨干涉测量 浙江大学 光电信息工程学系 * * 微纳椎管模型 出射端面外径:1.35μm 厚度:353nm 半锥角:9度 折射率:1.45 入射波长:632nm 光源:模式光源计 算玻璃环的本征模 玻璃环本征模入射 超分辨干涉测量 浙江大学 光电信息工程学系 * * 微纳椎管聚焦效果 FWHM300nm(0.47λ) XZ平面光强分布 焦点处XY截面光强分布 焦点处3D光强分布 * 爱激光,爱CCD 爱干涉,也爱漂亮的interferogram 爱光栅,爱microscopy 更爱破解检测难题 不是牛顿,不是爱因斯坦,不是钱学森, 我是光电检测控 有挑战的研究课题,有尊严的科研津贴, 有丰富多彩的实验室生活! 没什么特别的,和你们一样, 我喜欢速度与激情 征

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