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基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究.pdf
第2l卷第8期 传感技术学报 v01.21No.8
aI矾ESE ANDACnIAToRS
2008年8月 J顶瓜NAI,0FsEN90RS A-ug.2008
onSe璐itiVitiesofMicroc肌tileVerChemicalSe璐ors’
Study
WANG Ai一7z口1
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CJlf艘靶A∞dmyo,i唧P,吼M鲥“610209,cIli嘲
theresonance shiftsofvariousconstructedbeamsinthe mode,the
Abst翰ct:Toanalyze frequency dynamic
finite has the
element been thesoftwareIntelliSuite.Itshowsthat mostsensi—
analysis perfomedbyusing
tivestructureisthe cantileverbearn.Thus,adetailed onthe
triangularshaped dynamicanalysistrianguIar
beamis the betweenthe shiftandstructural is The
presented,and giVen.
relationship frequency parameters
each of
deflectionof cantileverbeamsinthestaticmode constant,whichdemonstratesthattheir
type keeps
static is ofthestructure on the
sensitivityindependent shapes.!沁mesuggestionsoptimizingdesignpar锄一
etersformicro are
trianglespresented.
ofchemical microcantilever mode
Keywords:sensitiVities beam;dynamicmode;static
sensors;triangular
EEACC:7230J;2575
基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究*
王大甲1,胡放荣1’2,姚军¨,邱传凯1,王爱娜1
,1.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209;、
\2.桂林电子科技大学电子工程学院。桂林541004 ,
摘 要:基于探测的原理,在动态模式下,首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析,结果表明三角形
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