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101 非织造布表面沉积ZnO薄膜的AFM和透光性分析 - 本原扫描探针
第 28 卷 第 2 期 纺 织 学 报 Vol. 28 No. 2
2007 年 2 月 Journal of Textile Research Feb. 2007
( )
文章编号 2007
非织造布表面沉积 ZnO 薄膜的 AFM 和透光性分析
1 ,2 1 2 2
邓炳耀 , 晏雄 , 魏取福 , 徐文正
( 1 东华大学 ,上海 201620 ; 2 江南大学 生态纺织教育部重点实验室 ,江苏 无锡 214122)
( )
摘 要 运用射频磁控溅射在非织造布基材上生长 ZnO 纳米结构薄膜。用原子力显微镜 AFM 分析了射频磁控
( )
溅射工艺参数 功率、压力、时间 对 ZnO 透明薄膜微结构的影响 ,并用分光光度计分析了样品的透光率。结果表
明:随着沉积时间的延长 ,非织造布表面 ZnO 纳米结构薄膜的致密性、均匀性越来越好 ;较高的溅射功率加速了晶
粒生长 ,但不易太大 ;过大的工作气压使 ZnO 颗粒形状逐渐变差 ;经 ZnO 镀层处理的非织造布对紫外光的吸收能力
随着镀膜厚度的增加逐渐增强。 n
关键词 射频磁控溅射 ; 非织造布 ; ZnO 薄膜 ; 工艺参数 ; 透光率
中图分类号:TS1748 文献标识码 :A c
.
AFM and transmittance analysis of non wovens deposited with ZnO film
m
1 ,2 1 2 2
DENG Bingyao , YAN Xiong , WEI Qufu , XU Wenzheng
( Donghua o
1 University , Shanghai 201620 , China ; 2 Key Laboratory of Science Technology of EcoTextile ,
Ministry of Education , Southern Yangtze University , Wuxi ,Jiangsu 214122 , China)
c
.
Abstract A magnetron sputter coating was used in this study to deposit zinc oxide ( ZnO) nanostructure film
onto the nonwoven substrat
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