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一种新型多官能度乙烯基醚树脂的制备及在光刻负胶中的应用3
( )
南京大学学报 自然科学
第 46 卷 第 1 期 Vol . 46 , No . 1
J OU RN AL O F N ANJ IN G U N IV ER SI T Y
20 10 年 1 月 J an .20 10
(N A TU RAL SCIEN CES)
一种新型多官能度乙烯基醚树脂的制备
及在光刻负胶中的应用
陈 明 ,张 鉴 ,李志炜 ,葛海雄 ,袁长胜 ,陈延峰
(南京大学材料科学与工程系 ,南京 ,2 10093)
( ) ( )
摘 要 : 以苯乙烯 ,2 - 异氰酸甲基丙烯酸酯 IEMA , 以及乙二醇单乙烯基醚 E GM E 等为原料 ,分两
( ) ( )
步合成了一种主链为聚苯乙烯结构的多乙烯基醚 V Es 树脂 PSIMV E . 通过测定该树脂的红外光谱 、
核磁氢谱及核磁碳谱 ,确定了其分子结构式. 测定了该树脂的紫外透光性 ,并且研究了基于该树脂的紫
外光刻负胶以甲苯及四氢呋喃为溶剂时的成膜性及紫外光固化性能. 通过接触式光刻工艺 ,在光刻胶膜
μ
层上得到了4 m 周期的光栅结构.
关键词 : 乙烯基醚 , 自由基共聚合 ,紫外光固化 ,光刻负胶
中图分类号 : TN 305 . 7
Synthesis of a novel vinyl ether f unctional ized resin and
its appl ication in negative photoresist
Chen M i ng , Z h ang J i an , L i Z h iWei , Ge H aiX iong , Yuan Ch angS heng , Chen YanFeng
(Dep art ment of Mat erial s Science and Engineering , Nanj ing U niver sit y , Nanj ing , 2 10093 , China)
Abstract : A novel U V curable vinyl et her functionalized polymer resin wa s synt hesized via two st ep s : ( 1) f ree
radical
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