基于光学扫描法的导轨直线度测量方法-光学仪器.pdf

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2017-08-12 发布于天津
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基于光学扫描法的导轨直线度测量方法-光学仪器

第卷第期光学仪器年月文章编号基于光学扫描法的导轨直线度测量方法房传明陈长军苏州大学机电工程学院江苏苏州摘要基于多测头光学扫描法对导轨直线度的在位测量方法提出一种新的倾角补偿的三测头扫描方法介绍了测量原理推导了基于最小二乘法的直线度形状重构方法重构出的形状可精确反映直线度误差的高频成分且对测量噪声有良好抑制能力对算法进行了仿真验证并由实验验证了提出方法的有效性实验结果表明该方法可以精确地还原出台阶状的直线度形状测量标准偏差在以内关键词扫描测量直线度三测头法倾角补偿中图分类号文献标志码