基于激光干涉仪的数控机床几何误差辨识与补偿-兰州交通大学学报.pdf

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基于激光干涉仪的数控机床几何误差辨识与补偿-兰州交通大学学报

28 6 Vol. 28 No. 6 2009 12 Journal of Lanzhou Jiaotong University Dec. 2009 : 1001373(2009) 0600 60 * 1, 2 1 1 张 娟 , 高锋阳, 蒋兆远 ( 1. , 730070; 2. , 730070) : 利用Renisaw ML10 激光干涉仪测量机床误差, 采用九线法对三轴数控机床误差参数 行辨识, 结合具体 机床, 准确建立了误差补偿的数学模型, 利用误差补偿软件实现了误差补偿, 显著地提高了数控机床的加工精度. : 数控机床; 几何误差; 激光干涉仪; 九线辨识法; 误差补偿 :TH 161; T G659 : A t N = f dt ( 1) 0 , . f = 2(v/ c)f ; v = dl/ dt; f = c/ ; t t , N = f dt = ( 2/ ) dl = 2l/ ( 2) 0 0 . , l = ( / 2) N ( 3) , : N ; ; c . [ 1] . , , . 1 1. 1 1 , . , f 1 f 2 1 1, / Fig. 1 Laser interference measurement . 3 , 1. 2 f 1 f 2 , 5 ; 3 1) , 6, f 2 2 . 6 8. 7 8 2) 6 , . 910, 11 , 3) , f . , . t f N , ) . t f , 5) . * : 2009030

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