大深径比微小孔径测量仪校准规范.pdf

中华人民共和国国家计量技术规范 JJF XXXX—201X 大深径比微小孔径测量仪 校准规范 Calibration Specification for Measuring Equipment of Diameter of Micro and Small Hole with High Aspect Ratio （征求意见稿） 201X–XX–XX 发布 201X–XX–XX 实施 国家质量监督检验检疫总局 发 布 JJF XXXX—201X 大深径比微小孔径测量仪 校准规范 JJF XXXX—201X Calibration Specification for Measuring Equipment of Diameter of Micro and Small Hole with High Aspect Ratio 本规范经国家质量监督检验检疫总局于 201X 年 XX 月 XX 日批准，并 自201X 年 XX 月 XX 日起施行。 主要起草单位：哈尔滨工业大学 参加起草单位：黑龙江省计量检定测试院 JJF XXXX—201X 本规范主要起草人： 谭久彬 （哈尔滨工业大学） 崔继文 （哈尔滨工业大学） 崔俊宁 (哈尔滨工业大学) 刘文滨 （黑龙江省计量检定测试院） JJF XXXX—201X 目 录 引言 II 1 范围 1 2 引用文件 1 3 术语和计量单位 1 3.1 微小孔径测量仪 1 3.2 瞄准触发 1 3.3 瞄准触发测量 1 3.4 微小孔 1 3.5 大深径比 1 4 概述 2 5 计量特性 3 5.1 X、Z 轴运动的直线度 3 5.2 X、Z 轴运动的定位精度 3 5.3 Y 轴运动的分辨力 3 5.4 光轴与 X 轴的平行度 3 5.5 孔径测量结果的重复性 3 5.6 孔径测量结果的示值误差 3 6 校准条件 3 6.1 环境条件 3 6.2 测量标准及其它设备 4 7 校准项目和校准方法 4 7.1 校准项目 4 7.2 校准方法 4 8 校准结果表达 8 9 复校时间间隔 8 附 录 A 大深径比微小孔径测量仪孔径测量结果不确定度评定 9 附 录 B 17 I JJF XXXX—201X