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化学气相沉积法制备硅质量分数6.5%硅钢的脆性-材料与测试网
年 月 第 卷 第 期
2015 12 39 12 Vol.39No.12Dec.2015
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DOI 10.11973 xccl201512004
jg
化学气相沉积法制备硅质量分数6.5%硅钢的脆性
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高 超 苏芳臣 相颖杰 孙 权 陈建钧
( , )
华东理工大学机械与动力工程学院 上海 200237
: ( ) , 、
摘 要 采用化学气相沉积 CVD 法制备了硅质量分数为 6.5%的硅钢 利用扫描电镜 能谱仪
、 .
和自主设计研发的三点压弯机研究了反应温度 气氛含氧量和 SiCl含量对硅钢脆性的影响 结
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果表明 硅钢的晶粒尺寸随反应温度的升高而长大 硅钢的脆性随着晶粒尺寸的增加而增大 气氛
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含氧量在 100m k 时所制备的硅钢产生了晶界氧化现象 使硅钢脆性增加 SiCl含量较大时
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( ) , .
体积分数 35% 所制备的硅钢产生了Kirkendall空洞 导致其脆性加剧
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关键词 CVD法 硅钢 脆性 晶界氧化
中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( )
TB31 A 1000G3738201512G0012G05
Brittlenessof6.5wt%SiSiliconSteelPrearedb
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ChemicalVaorDeositionMethod
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GAOChao SUFanGchen XIANGYinGieSUN uan CHENJianGun
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SchoolofMechanicalandPowerEnineerin EastChinaUniversitofScienceandTechnolo Shanhai200237 China
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