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物理学和高新技术 硬盘驱动器巨磁电阻( GMR) 磁头 :从微米到纳米 蒋 致 诚 ( SAE 材料科学实验室 东莞 523087) ( ) 摘 要 近年来电脑硬盘存储密度的飞速增长 年增长 100 % 已超出摩尔定律的预言. 这种惊人的高速增长中 , ( ) 最关键的因素是自旋阀纳米多层膜结构 ,即巨磁电阻 GMR 读传感器磁头的应用. 事实上 ,巨磁电阻磁头读传感器 (reader sensor) 已经实现由微电子器件向纳米电子器件转化,并且形成大规模产业. 这一过程包含了自旋电子学、材 料科学、微电子工程学、化学、微机械力学和工程学等诸学科和相关微加工技术综合性挑战极限 ,进入纳米科技领 域实质性进步. 关键词 硬盘 , GMR ,读传感器 ,纳米器件 Giant magnetic resistance head for hard disk drives : from micro to nano J IAN G ZhiCheng ( ( ) ) M aterial Science L aboratory , SA E M agnetics H . K . L t d . , Dongguan Plant , Dongguan 523087 , China Abstract Hard disc drive heads based on giant magnetic resistance and tunneling magnetic resistance inte grate the latest developments of spintronics , material science , microelectronic engineering , chemistry , microair dynamics , micromechanics and engineering. The technology has been continuously challenging the technical limitations of deep submicro device manufacturing , and has achieved a breakthrough over the 100nm threshold in all the three dimensions , presenting the first successful example of the transition from micro to nanodevice in the mass production of hard disk drives. Key words hard disc drive , giant magnetic resistance , reader sensor , nanodevice 近年来信息技术的飞速发展中 , 电脑硬盘存储 个最好的实例. 密度的增长极为令人注目 :从 10 年前开始 ,其单位 电脑硬盘巨磁电阻磁头制造被称为是挑战极限
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