SMIF／微环境的应用及节能分析.pdfVIP

第 22卷第 5期 制冷与空调 V_o1．22No．5 2008年 l0月 RefrigerationandAirConditioning Oct．2oo8．112～ ll5 文章编号：1671-6612(2008)05．112—04 S…F／微环境的应用及节能分析 冯震 刘刚 甘长德 王明红 (1．东华大学建筑环境与设备工程 上海 201620；2．上海工程技术大学 上海 200336) 【摘 要】 在大面积洁净室内引入 SMIF／微环境系统能在更好的满足工艺洁净等级的要求下，起到节能的效 果。分析总结了影响 SMIF／微环境系统的主要参数以及提出了这些参数的建议取值范围、具体分 析了在引入 SMIF／微环境系统后所带来的节能效果 (通过降低微环境内的风机能耗以及系统内气 流组织的优化，其最大节能效果可达60．86％)。 【关键词】 SMIF；微环境；洁净室；洁净标准；电量密度 中图分类号 TU834 文献标识码 A ApplicationofSM IF／M inienvironmentandOpportunitiesinEnergySaving FengZhen LiuGang GanChangde WangMinghong (1．BuildingServiceengineeringlaboratoryDonghuauniversity shnaghai201620：2．ShnaghaiUniversityofEngineering Science shnaghai 200336) [Abstract]theapplicationofmini-environment(standard-mechnaicalinterface)enclosurecleanroommaynotonlymaintaina levelofstringentcleanliness，butalsoofferopporttmitiesinenergysaving．Thepurposeofthispaperistosummarizethemajor praameterswhichinfluencetheSMIFIminienvironmentnadanalyzehtemagnitudesofpotentialenergysaving(upto60·86％)by integratingSMIF／minienvironmentsintraditional cleanroonwithoptimaldesigningandreducinghteelectricalpowerdemandof fanfilter [Keywords]SMIF；mini—enviromn ent；cleanroom；clenaliness； electricalpowerdemnad 0 引言 如台湾半导体制造 (TSMc)公司在运用此系统后 随着现代半导体工业技术的飞速发展，集成电 成品率高达 97％，而新加坡的chartered半导体工 路的特征尺寸越做越小，这使得微小颗粒物对于半 厂 (0．6 )的成品率也从 48％提高到 88％l“， 导体硅片的成品率的影响也越来越大，为满足工艺 由此可见，在合理优化设计的前提下，SMIF／微环 要求需要不断提高室内洁净等级。但是一般的半导 境系统通过与周围环境的隔离，能显著的提高生产 体洁净工厂其生产工艺所需的洁净面积往往只占 成品率，减少所需的洁净面积，降低周围区域的洁 总面的一小部分，因而采用提高整个厂房的洁净等 净等级 ，因此本文将总结影响SMIF／微环境系统 级来满足工艺生产的要求，势必会导致投资运行费 的各种参数及这些参数的建议取值并着重分析 用的增加 (在洁净室内循环风量