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LCD 工业用自动椭偏仪的设计思路 - 光学精密工程
8 5 Vol. 8, No. 5
2 0 0 0 1 0 OP T ICS A N D PR E CI SION EN GI NEER IN G O ct . , 2 000
1004-924X( 2000) 05-0466-04
LCD
刘立国, 吕正德, 朱鹤年
( 清华大学物理系, 北京 100084)
: ,
( L CD) ,
, L CD ,
: 椭圆偏振测量术; 自动椭偏仪; L CD; 薄膜
: T H744 . 2 , O 436. 3: A
,
3]
1 引 言 :
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2 新型自动消光椭偏仪
( ) , :
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L CD ,
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1]
: ( 1)
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( RA E ) 2] , Fig . 1St ructure of the new rho mb -ty pe / 4 re-
, ta rder
: 2000-04-03; : 2000-06-28
:
5 , :
L CD 4 67
/ 4 , ,
Babinet
90 , ,
, 2 ,
3 , ,
, 3 自动椭偏仪在L CD 工业中的应
用
/ 4 , 1
, A D-2 :
L CD , LCD
,
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