p067 利用奈米压印制作特定奈米结构之元件及其光电 - 机械工业杂志.PDF

先進製造技術專輯 較大的應用價值。目前國立清華大學動力機械工 關鍵詞(Keywords) 程學系的研究團隊利用連續滾壓式紫外線奈米壓 印微影在軟性玻璃基板上已經能製作出線寬 15 奈 ．奈米壓印微影 Nanoimprint Lithography 米以下的金屬線柵偏光片。本文將摘要介紹奈米 ．金屬線柵偏光片 Metal Wire Grating Polarizer 壓印微影及其較具代表性的相關應用。 ．透明金屬電極 Transparent Metal Electrode As most consumer electronic products come in compact sizes in recent years, the number of 摘要(Abstract) electronic components on a single chip is continuously increasing. Therefore, various nano 由於近年來大多數消費型電子裝置的體積要 manufacturing technologies have sprung up, the 求輕薄短小，所以其晶片之單位區域內的電子元 most attractive technique of which is nanoimprint 件數量愈來愈多，致使各種奈米製造技術如雨後 lithography (NIL) because of its excellent resolution 春筍般出現，其中以奈米壓印微影技術最為人所 of feature size and high potential for mass 注意，由於其優異的特徵尺寸解析度與具大量生 production. This technique can produce a variety of 產的潛力；該技術可製作的表面結構幾何形狀包 surface geometries, for instance cylinder, cone, line, 括柱形、錐形與線條形等，其中線條形具有相對 etc., wherein the line-type possesses a relatively │ │ 2014.09 │67 先進製造技術專輯 wide range of applications. A research team from the 米壓印(Nanoimprint Lithography, NIL)兩種。 Department of Power Mechanical Engineering at 黃光微影為目前業界最普遍所使用之技術， National Tsing Hua University has realized metallic 但其高能耗、高污染及高成本等問題，導致產品 wire grat