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1 上海三科仪器有限公司 椭圆偏振光谱仪系列 椭圆偏振光谱技术是近年来随着现代科技的发展而迅速发展起来的光学无 损检测方法，在材料、信息、化学、物理、生命科学领域具有广泛的应用前景。 它已越来越多地用于介电、半导体、金属、有机物等各种材料的光学特性、结构 特征、生长过程和材料质量的快速测试与研究。我公司经营销售的自动测厚仪、 单波长/ 多波长自动椭圆偏振分析仪、紫外-近红外波段自动椭圆偏振光谱仪和红 外波段全自动椭圆偏振光谱仪等全波段系列产品具有高准确度、高精度、最高性 价比等特点，其中红外椭圆偏振光谱仪是当今国际上唯一一种红外波段、单色仪 光谱型的椭圆偏振光谱仪,它比基于红外傅里叶光谱仪的椭圆偏振光谱仪便宜得 多，其性能参数都达到国内领先、国际先进水平。 E p-plane s-plane E p-plane plane of incidence s-plane 仪 器 用 途 应 用 领 域 —单层膜结构和膜厚 —均匀性 • 化学 • 通讯 —多层膜结构和膜厚 —折射率n • 数据存贮 • 平板技术 —生长或蚀刻速度 —消光系数k • 光刻术 • 光学镀膜 —多成份组成比 —结晶度 • 半导体 • 在位检测 —氧化层厚度和解吸附 —表面粗糙度 • 生命科学 • 微电子 —折射率梯度分布 —界面混合特性 • 科研 • 教学 上海市高新技术企业 本企业通过ISO9001：2000质量管理体系认证 本企业通过ISO13485：2003质量管理体系认证 上海市上中路 303 号 邮编：200231 销售电话64873364 2 椭圆偏振光谱仪系列 SC600 系列 1．光 源： He-Ne激光器632.8nm或固体激光光源 自动椭圆偏振测厚仪 2．入射角：65度 3．测量膜厚厚度：1-10，000nm SC600HG 型 气体激光光源 632.8nm 4．测量精度：0.1nm SC600LG 型 固体激光光源 5．样品尺寸：Ø1-160mm 6．软 件 470nm，532nm，543nm，630nm，780nm， ①基于Windows XP的操作系统； 850nm，935