国立中央大学光电中心Ellipsometer 椭圆测厚仪使用规范.PDFVIP

國 立 中 央 大 學 光 電 中 心 991126 修訂 Ellipsometer 橢圓測厚儀使用規範 一、目的：為維持本實驗室正常運作且發揮其最大功能，特訂定此管理辦法，供使用者依循。 二、設備型號：Jobin Yvon / UVISEL M200 三、使用者等級及權限： 各級使用者權限 使 用 者 權 限 A 級使用者 1. 包含 B 、C、T 級使用者之權利義務。 2. 此為儀器負責人，須進行機台 maintain。 3. 成為本儀器檢定員以協助進行使用者資格考核。 B 級使用者 1. 包含 C 、T 級使用者之權利義務。 2. 向儀器負責人申請更動儀器之設定的權利。 3. 升等為該機台合格訓練員資格。 C 級使用者 1. 包含 T 級使用者之權利義務 2. 依儀器操作流程操作 T 級使用者 須有合格使用者陪同，始可操作儀器 ※備註： 使用者之義務︰ 1. 若有 T 級使用者者欲使用本機台，請在場的合格使用者協助並訓練之。 ※備註： B 、C 級使用者說明： 1. 機台考核通過，則為 C 級之使用者。 2. 10000 級儀器設備使用時段若經升等，則本設備使用權亦隨之升等，無需另行申請。 3. C 級使用者，亦可向實驗室管理委員會單獨提出黃光室操作升等為 B 級，若通過考核，則 本設備之操作權亦將升等為 B 級。 四、訓練考核申請須知 訓練申請說明： 凡每位欲成為合格使用者必須先通過微光電實驗室潔淨台操作資格考方可提出訓練申請表， 申請表格為微光電實驗室儀器操作訓練申請表(B 表) ，並依規定詳實填寫。 B 表簽名流程如下: 指導教授簽名→行政研究員蓋章→儀器負責人簽名→正式累積訓練紀錄→完成訓 練後請訓練員簽名(訓練員請自行安排)→檢定員考核並簽名→○7 儀負合格簽證。 訓練考核標準流程： 等級 考 核 內 容 1. 需填寫 C 表提出申請。 2. 違規紀錄審核。 3. 系統原理口試。 A 級使用者 4. 廠務考試。 5. B 級使用者使用次數再累積 30 次以上。 6. 本設備結構、保養、緊急危機處理。 1. 需填寫 C 表提出申請。 2. C 級使用次數達 10 次以上。 3. 違規使用紀錄審。 B 級使用者 4. 系統原理口試。 5. 10000 級儀器設備使用權限若為 B 級者，則本設備使用權亦隨之升等， 無須另行申請。 1. T 級使用者。 2. 至少 3 次觀看、3 次實機操作的訓練課程（須有訓練員簽名，並在使用 C 級使用者 紀錄簿上登記），使可提出資格考。 3. 上機實作考試。 4. 系統原理口試。 T 級使用者 已通過潔淨台資格考，並填寫 B 表和儀器操作訓練紀錄表 人員定義： 訓練員：具有合格使用資格者。 檢定員：儀器負責人或微光電實驗室指定已具合格使用資格者。 合格者須知： 通過檢定之使用者若於三個月內未申請操作則自動降一級使用資格，上機時間則重新累計。 若因故被取消使用資格，則須再通過考核，才可恢復使用資格。 五、相關規定及懲處： 1. 操作機台時必須詳實填寫使用記錄表，若機台發生異狀需詳實填寫狀況、初步應變措施並 盡快通知管理者處理，若因延遲申報造成