圣约翰科技大学改善师资成果报告书-圣约翰科技大学人事室.PDF

聖約翰科技大學 改善師資成果報告書 計畫名稱：二極體性能之檢測評估 單 位：機械與電腦輔助工程系 主持人：張瑞慶 職 級：教授 日 期：98/08/01~99/07/31 目 錄   摘 要   2  一、計畫源起    3  二、檢測設備    3  三、檢測流程    5  四、測量方法    6  五、檢測結果    7  六、結論    10  1 摘 要 智威科技股份有限公司成立於19 94年，以訂定發展「新一代的 二極管」為公司主要目標，並致力於建立自有品牌形象，開發世界 所獨創領先之技術的新產品，如： 全切面玻璃護封半導體二極管蕊 片、片型二極管，採用新的結構設計、製程技術及材料，完全拋棄 以往二極管的製造方法，自成立以來，已成功獲取25件世界專利權， 包括台灣、美國、大陸、英國及日本。 智威科技股份有限公司為了解各項 生產的二極管產品性能與製 程後內部微結構的完整性等…，特 與本校合作，使用電子顯微鏡、 EDS能譜分析儀等…儀器，檢測各項自家二極體產品的微結構分析、 元素成份分析，做為產品的標準樣品，建立起產品分析資料庫，並 對各項其他有瑕疵的產品，做另外的分析與交叉比對，解決與釐清 各項產出問題；另藉由本計畫提供 之相關檢測資料，對自家產品生 產線製程與生產狀況嚴格要求，提供客戶更好更穩定的二極管，並 進而創新研發更新一代的產品。 2 一、計畫源起 智威科技股份有限公司是致力於建 立自有品牌形象，開發世界 所獨創領先技術之二極管產品的公司，為了解各項生產的二極管產 品性能與製程後內部微結構的完整 性等…，特與本校合作，使用電 子顯微鏡、EDS能譜分析儀等…儀器，檢測各項自家二極體產品的微 結構分析、元素成份分析，做為產品的標準樣品，建立起產品分析 資料庫，並對各項其他有瑕疵的產品，做另外的分析與交叉比對， 解決與釐清各項產出問題；另藉由 本計畫提供之相關檢測資料，對 自家產品生產線製程與生產狀況嚴 格要求，提供客戶更好更穩定的 二極管，並進而創新研發更新一代的產品。 二、 檢測設備 掃描式電子顯微鏡：利用電子束於樣品上來回掃描，收集累積二次 電子後形成圖像，可調整放大倍率至 10萬倍。 EDS能譜分析儀：利用電子束撞擊樣品試片產生二次電子後，多出 來的能量會以X光的形式放出，由於不同元素會產生不同能量(波長) 的X光，所以可以用來定性與定量分析材料的成份。 3 圖 1. 電子顯微鏡搭配能譜分析儀 設備規格 ：1.解析度：3.0nm