基于实验室自动化的ACS集成测试系统.PDF

引言 基于晶圆的自动化软件 随着面市时间和测试成本的压力增大，需要继续仔细检查 ACS适用于从器件级至晶匣级 工具利用率和测试工程师的生产率。提高自动化水平是一种改 的自动化，包括对大部分标准自动 善资源分配常规方法。从手动探测器的单管芯测试到半自动探 探测器的控制。使用直观的用户流 测器的单晶圆测试的这一过程自然会通向自动探测器的全晶匣 程（例如晶圆映射定义和各种测试 检测。在过去，使用精密、灵活的实验室工具但不购买BEOL生 模块与测试模式）建立和执行全自 产测试仪的条件下执行此类测试非常困难。这类测试通常包含 动测试并实现晶匣级生产能力是一 大量定制代码和专用测试台并且需要训练有素的工程师运行设 项非常简单的任务（见图2）。功 备。吉时利有这种方案。通过结合吉时利的自动特性分析套件 能强大的报表工具能管理数据采集 （ACS）软件和4200-SCS半导体特性分析系统，您将获得两者 和演示，避免让操作人员淹没在多 的优点——实验室级特性分析和生产自动化。 晶圆上多管芯的完全参数特性分析 所产生的海量数据中。 业内领先的实验室特性分析和建模 ACS软件能以晶匣级自动化和 4200-SCS是用于各种特性分析和建模任务的一款半导体实 半自动模式（在一片晶圆上移动） 图1. 4200-SCS运行ACS和控制开关矩阵 验室的重要工具。典型应用包括标准直流IV和CV测试测试结构 控制全自动探测器，这对于测试 的例子 以及BJT、FET和二极管等器件。高达1A和200V多通道源能力以 开发或调试都非常有用。从4200-SCS的嵌入式PC（基于Windows® 及低至100阿安（atto-amps）和1μV的测量分辨率使4200-SCS XP操作系统）上运行时，ACS还能控制4200-SCS的GPIB端口上的 非常适于各种器件和技术。机载PC和集成软件（吉时利交互式 其它仪器和硬件并将测量结果数据返回至ACS以便提取参数和管 测试环境，或KTEI）非常适于执行交互式测试的或用半自动探 理数据。在研发实验室里执行CV测试并控制脉冲仪、开关矩阵 测台实现轻量级自动化的器件与建模工程师。KTEI测试包括自 和探针器很常见，而且在ACS环境进行设置和操作也非常直观 动移动至晶圆上的其它管芯或器件，以及简单测试循环、数据 方便。 存储和参数提取。 方便的模式创建和测试设置（图3）可以尽量减少人的干预 新的脉冲硬件和软件显著拓宽了4200-SCS的测试能力。标 并缩短设置时间。保存“方案”和其它测试计划能有效提高测 准脉冲测试包括电荷泵（用于测试栅氧化层完整性）和脉冲IV 试需求并满足加速重新定位测试台的需求。 测试（用于确定器件功能性，没有直流导致的测试产物如自发 热劣化或电荷俘获）。4200-SCS为测试工程师提供仪器级的脉 冲硬件访问，并能切合各种应用包的需要，将合适的硬件配置 与互联相结合并针对具体应用定制软件以提供交钥匙方案。当 前的应用包包括：4200-PIV-A包，针对最前沿的CMOS FET特性 分析（特别是高κ栅极介电层以及绝缘体上硅等热敏技术）； 4200-PIV-Q包，针对需要双通道和静态工作点脉冲的小型RF和 功率晶体管；和4200-FLASH包，用于测试浮动栅极非易失存储 器件和技术。 图2. 设置和使用ACS软件的典型使用流程案例 精密实验室设备和全自动功能降低测试成本 在成本较低的台式测试