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应用于蓝光DVD读取头之静电力可调式为复合型透镜之设计与研制
應用於藍光 DVD讀取頭之靜電力可調式為複合型透鏡之設計與研製 (Design and
fabrication of micro hybrid aspheric lens for blue ray DVD shaped by
electrostatic force)
本實驗室發展出一套梯度靜電力微透鏡製造方法，以不同的透鏡材料如：
SU8 、NOA63 、COC 等，透過光學模擬軟體(OSLO)進行光斑圖(Spot Diagram) 、
波前像差(Wavefront aberration) 、調制轉換函數(modulation transfer function) 、點
擴散函數(Point Spread Function) 、焦距(focal length) 等之光學模擬，進而得到系統
之設計目標值。目前透鏡之設計為：複合式平凸非球面透鏡與雙凸非球面透鏡。
(a)複合式平凸非球面透鏡：主要利用光學玻璃(ex:BK7)為基板，搭配SU8 、NOA63
紫外光固化材料，結合微機電系統製程與靜電力調變系統，製作複合式非球面透
鏡。(b)雙凸非球面透鏡：主要用已鑽孔玻璃做為基材，搭配加熱系統使COC塑
膠材料呈熔融態，結合微機電系統製程與靜電力調變系統，製作雙凸非球面透
鏡。檢測機制：(a)非球面檢測機制：使用高解析度CCD擷取透鏡形貌，搭配影
像處理軟體 ( Image-Pro Plus )和曲率擬合軟體(OriginPro)求得曲率(curvature) 、圓
錐係數(conic constant) 、非球面係數(aspheric coefficient) 。(b)光點檢測機制：本實
驗室針對藍光 (405nm)進行光點量測與分析。
(a) (b)
NOA63 Refractive index(λ=405)=1.58 ，Spot size=0.3252um COC Refractive index(λ=405)=1.53 ，Spot size=0.349um
Back focal length=0.214mm Back focal length=0.208mm
圖 1. OSLO模擬(a)複合式平凸非球面透鏡(b)雙凸非球面透鏡
(a) (b)
V
Glass
Al
Telfon
COC
圖 2.微透鏡成型機制 (a)平凸透鏡(b)雙凸透鏡
(a) (b)
圖 3.透鏡側拍圖(a)平凸非球面透鏡(NOA63)(b)雙凸非球面透鏡(COC)
圖 5.光點量測示意圖
圖 4.非球面檢測機制
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